Systematic error analysis and correction in quadriwave lateral shearing interferometer
Systematic error analysis and correction in quadriwave lateral shearing interferometer
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四波横向剪切干涉仪系统误差分析与修正
DOI：
10.1016/j.optcom.2016.06.002
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发表时间：
2016-12
影响因子：
2.4
通讯作者：
Han Zhigang
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
Zhu Wenhua;Li Jinpeng;Chen Lei;Zheng Donghui;Yang Ying;Han Zhigang
为了实现高精度、高分辨率的动态波前测量，对四波横向剪切干涉仪的系统误差进行了分析和修正。该干涉仪将棋盘光栅与顺序选择掩模相结合，以选择被测波前的四个复制品。引入准直透镜对复制品进行准直，既消除了复制品间剪切引起的彗差，又避免了因CCD倾斜引起的散光和散焦。此外，这种结构允许剪切量从零开始变化，这有利于校准系统误差。用不同剪切量的QWLSI测量了一个实际的透射波前。重建波前的系统误差得到了很好的抑制。均方根的标准偏差为0.8 nm，验证了QWLSI动态波前测量的稳定性和可靠性。
To obtain high-precision and high-resolution measurement of dynamic wavefront, the systematic error of the quadriwave lateral shearing interferometer (QWLSI) is analyzed and corrected. The interferometer combines a chessboard grating with an order selection mask to select four replicas of the wavefront under test. A collimating lens is introduced to collimate the replicas, which not only eliminates the coma induced by the shear between each two replicas, but also avoids the astigmatism and defocus caused by CCD tilt. Besides, this configuration permits the shear amount to vary from zero, which benefits calibrating the systematic errors. A practical transmitted wavefront was measured by the QWLSI with different shear amounts. The systematic errors of reconstructed wavefronts are well suppressed. The standard deviation of root mean square is 0.8 nm, which verifies the stability and reliability of QWLSI for dynamic wavefront measurement.
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影响因子：
2.4
作者：
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通讯作者：
Tian, Feng
DOI：
10.1117/12.309563
发表时间：
1998-06
期刊：
--
影响因子：
--
作者：
P. Naulleau;K. Goldberg;S. Lee;Chang Chang-Chang;Cynthia J. Bresloff;P. Batson;D. Attwood;J. Bokor
通讯作者：
P. Naulleau;K. Goldberg;S. Lee;Chang Chang-Chang;Cynthia J. Bresloff;P. Batson;D. Attwood;J. Bokor
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作者：
Yun-feng Guo;Jianpei Xia;Jianping Ding
通讯作者：
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作者：
Wenhua Zhu;Lei Chen;C. Gu;Jun Wan;Donghui Zheng
通讯作者：
Wenhua Zhu;Lei Chen;C. Gu;Jun Wan;Donghui Zheng
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作者：
R. Smartt;W. H. Steel
通讯作者：
R. Smartt;W. H. Steel