Fabrication of Smart Material PZT Thin Films by RF Magnetron Sputtering Method in Micro Actuators
Fabrication of Smart Material PZT Thin Films by RF Magnetron Sputtering Method in Micro Actuators
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微型执行器中射频磁控溅射法制备智能材料 PZT 薄膜
DOI：
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发表时间：
2006
期刊：
影响因子：
--
通讯作者：
Yasutomo UETSUJI
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
黒川悠;水谷義弘;黛正己;上辻靖智;Yasutomo UETSUJI;Yasutomo UETSUJI;Yasutomo UETSUJI
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