レーザによる精密割断
レーザによる精密割断
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激光精密切割
DOI：
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发表时间：
2007
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
宮下幸雄
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Masayoshi;Yamamoto;Misako Masui;Masayoshi Yamamoto;Takashi Horiguchi;上原赫(監修);上原赫(監修);宮下幸雄
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DOI：
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发表时间：
2005
期刊：
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影响因子：
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作者：
F. Fukuyo
通讯作者：
F. Fukuyo
YAG 激光照射对硅片的断裂
DOI：
10.2472/jsms.44.159
发表时间：
1995
期刊：
Journal of The Society of Materials Science, Japan
影响因子：
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作者：
T. Kurobe;K. Ichikawa;H. Nagai
通讯作者：
H. Nagai
利用热应力作为脆性材料切割装置的可能性。
DOI：
10.1299/kikaia.55.147
发表时间：
1989
期刊：
Transactions of the Japan Society of Mechanical Engineers. A
影响因子：
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作者：
Y. Imai;H. Morita;Tooru Takase;Hiroyuki Koga
通讯作者：
Hiroyuki Koga
使用 YAG 激光切割液晶显示器基板玻璃（STN 法）
影响因子：
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作者：
利次 黒部;貴弘 松本
通讯作者：
貴弘 松本
电子器件晶圆的激光切割
影响因子：
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作者：
T. Ueda;Kunishige Tanaka;S. Nishioka;Keiji Yamada;A. Hosokawa
通讯作者：
A. Hosokawa