Optimization of Piezoresistive Motion Detection for Ambient NEMS Applications
Optimization of Piezoresistive Motion Detection for Ambient NEMS Applications
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环境 NEMS 应用的压阻式运动检测优化
DOI：
10.1109/sensors47125.2020.9278593
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发表时间：
2020
期刊：
影响因子：
--
通讯作者：
Ekinci, Kamil L.
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
Ti, Chaoyang;Ari, Atakan;Orhan, Ezgi;Gonzalez, Miguel;Yanik, Cenk;Kaya, Ismet I.;Selim Hanay, M.;Ekinci, Kamil L.
环境压力和温度下纳米机械运动的电子读数对纳米机电系统（NEMS）的新兴应用提出了重要的挑战。在这里，我们优化了一种用于空气中NEMS谐振器的金属压阻运动传感器。NEMS谐振器的纳米机械运动作为信号下混频器，使低频电路能够检测到运动信号。检测回路中的平衡电路减少了一些不需要的背景，并允许在没有重大损失的情况下进行检测。我们探索了检测参数空间，并使用优化的参数集来检测NEMS双钳位光束谐振器的基频、二次和三次谐振。我们的简单电路模型与实验结果一致，为进一步优化指明了方向。
Electrical readout of nanomechanical motion in ambient pressure and temperature imposes an important challenge for emerging applications of nanoelectromechanical systems (NEMS). Here, we optimize a metallic piezoresistive motion transducer for NEMS resonators in air. The nanomechanical motion of the NEMS resonator serves as a signal down-mixer and enables the detection of the motional signal by a low-frequency circuit. A balanced circuit in the detection loop reduces some of the unwanted background and allows for detection without significant losses. We explore the detection parameter space and use an optimized parameter set to detect the fundamental, second and third harmonic resonances of a NEMS doubly-clamped beam resonator. Our simple circuit model agrees with experimental observations and points the way for further optimization.
根据自然频率预测 NEMS 梁特性的逆方法
DOI：
10.1115/1.4046445
发表时间：
2020
期刊：
Journal of applied mechanics
影响因子：
--
作者：
Liem, Alyssa T;Ari, Atakan B;McDaniel, J. Gregory;Ekinci, Kamil L.
通讯作者：
Ekinci, Kamil L.
双钳位纳米束作为压阻质量传感器
DOI：
10.1109/icsens.2007.4388615
发表时间：
2007
期刊：
2007 IEEE Sensors
影响因子：
--
作者：
J. Jiwei;Zhao Quanbin;Y. Heng;Li Tie;Li Xinxin;Wang Yuelin
通讯作者：
Wang Yuelin