レーザー直接描画法を用いたウェットプロセスによる機能膜微細パターン形成 (Micropatterning of functional films by wet process using laser direct writing method)

レーザー直接描画法を用いたウェットプロセスによる機能膜微細パターン形成 (Micropatterning of functional films by wet process using laser direct writing method)
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使用激光直写法通过湿法工艺对功能薄膜进行微图案化

DOI:
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发表时间:
2011
期刊:
第17回エレクトロニクスにおけるマイクロ接合・実装技術シンポジウム論文集
影响因子:
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通讯作者:
渡辺明
渡辺明
中科院分区:
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文献类型:
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作者:
伏見公志;熊谷美那;宮元一成;長谷川靖哉;渡辺明

文献摘要

参考文献

被引文献

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发表时间: 2003
影响因子: 1.5
作者:
A. Watanabe;Tomokazu Tanase;Yoshio Kobayashi;M. Konno;S. Yamada;T. Miwa
通讯作者: T. Miwa
DOI: 10.1007/s00339-009-5433-6
发表时间: 2009-10
期刊: Applied Physics A
影响因子: --
作者:
R. Auyeung;H. Kim;A. Birnbaum;M. Zalalutdinov;S. Mathews;A. Piqué
通讯作者: R. Auyeung;H. Kim;A. Birnbaum;M. Zalalutdinov;S. Mathews;A. Piqué