Instability of residual stress of crystalline and glass oxide thin films prepared by sol-gel method
Instability of residual stress of crystalline and glass oxide thin films prepared by sol-gel method
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溶胶-凝胶法制备晶体和玻璃氧化物薄膜残余应力的不稳定性
DOI：
10.1063/5.0051007
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发表时间：
2021
期刊：
影响因子：
--
通讯作者：
Y. Nishimura and H. Kozuka
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
Haruyuki Inui,Kyosuke Kishida;Koudai Niitsu;Easo George;Y. Nishimura and H. Kozuka
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氧化钇稳定氧化锆薄膜结晶度和薄膜应力的评估
DOI：
10.1116/1.2011403
发表时间：
2005
期刊：
Journal of Vacuum Science and Technology
影响因子：
--
作者：
J. Piascik;Jeffrey Y. Thompson;C. Bower;B. Stoner
通讯作者：
B. Stoner
影响因子：
2.5
作者：
Kozuka, Hiromitsu
通讯作者：
Kozuka, Hiromitsu
溶胶-凝胶衍生氧化物涂膜面内残余应力的表观松弛
DOI：
--
发表时间：
2019
期刊：
影响因子：
--
作者：
H. Kozuka;S. Kitano;Y. Koizumi and Y. Nishimura
通讯作者：
Y. Koizumi and Y. Nishimura
影响因子：
3.9
作者：
S. Garofalini;J. Lentz;M. Homann
通讯作者：
M. Homann
影响因子：
3.9
作者：
E. Bush;F. A. Hummel
通讯作者：
E. Bush;F. A. Hummel