Fabrication of ultrathin Al_2O_3 freestanding tube using atomic layer deposition process
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原子层沉积工艺制备超薄Al_2O_3独立管
DOI：
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发表时间：
2009
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
Y. Kagawa
中科院分区：
文献类型：
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作者：
T. Saito;K. Matsumura;Y. Kagawa
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