Convergence properties of critical dimension measurements by spectroscopic ellipsometry on gratings made of various materials
Convergence properties of critical dimension measurements by spectroscopic ellipsometry on gratings made of various materials
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不同材料光栅上光谱椭圆偏振测量临界尺寸的收敛特性
DOI：
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发表时间：
2006
期刊：
影响因子：
--
通讯作者：
Y.Otani
中科院分区：
文献类型：
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作者：
R.Antos;J.Pistora;J.Mistrik;T.Yamaguchi;S.Yamaguchi;M.Horie;S.Visnovsky;Y.Otani
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DOI：
10.1364/josaa.12.001097
发表时间：
1995-05-01
影响因子：
1.9
作者：
COTTER, NPK;PREIST, TW;SAMBLES, JR
通讯作者：
SAMBLES, JR
正弦光栅上的光谱椭圆测量
DOI：
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发表时间：
2005
期刊：
Appl.Surf.Sci. 244(1-4)
影响因子：
--
作者：
R.Antos;I.Ohlidal;J.Mistrik;T.Yamaguchi
通讯作者：
T.Yamaguchi
DOI：
10.1117/12.598683
发表时间：
2005
期刊：
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影响因子：
--
作者：
A. Kinoshita;Fujikazu Kitamura;M. Horie;Tomohiro Yoshida
通讯作者：
Tomohiro Yoshida
金属层的镜面光谱轮廓测量
DOI：
10.1117/12.386454
发表时间：
2000
期刊：
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影响因子：
--
作者：
Junwei Bao;Xinhui Niu;Nickhil H. Jakatdar;C. Spanos;J. Bendik
通讯作者：
J. Bendik
影响因子：
3.2
作者：
Franke, E;Trimble, CL;Frost, F
通讯作者：
Frost, F