Simple microfabrication method of glass plate using high-viscosity photoresist for micro analytical systems
Simple microfabrication method of glass plate using high-viscosity photoresist for micro analytical systems
复制标题
用于微分析系统的使用高粘度光刻胶的玻璃板的简单微加工方法
DOI：
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发表时间：
2004
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
S.Fujii et al.
中科院分区：
文献类型：
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作者：
S.Fujii et al.
影响因子：
7.4
作者：
Hu, SW;Ren, XQ;Allbritton, N
通讯作者：
Allbritton, N
影响因子：
0.2
作者：
H. Shiraishi;S. Kawanaka;Toshio Matsuda;O. Tabata;S. Ikeda
通讯作者：
S. Ikeda
影响因子：
1.6
作者：
Fujii, S;Tokuyama, T;Okubo, A
通讯作者：
Okubo, A