One-dimensional particle-in-cell/Monte Carlo collision simulation for investigation of amplitude modulation effects in RF capacitive discharges
One-dimensional particle-in-cell/Monte Carlo collision simulation for investigation of amplitude modulation effects in RF capacitive discharges
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用于研究射频电容放电中幅度调制效应的一维细胞内粒子/蒙特卡罗碰撞模拟
DOI：
10.1557/s43580-022-00417-w
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发表时间：
2022
期刊：
影响因子：
0.8
通讯作者：
I.Nagao,K.Kamataki1,A.Yamamoto,M.Otaka,Y.Yamamoto,D.Yamashita,N.Yamashita,T.Okumura,N.Itagaki,K.Koga,M.Shiratani
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
Kawasaki Hiromu;Tamura Toshiki;Sunahara Atsushi;Nishikino Masaharu;Namba Shinichi;O’Sullivan Gerry;Higashiguchi Takeshi;Jintao Li;I.Nagao,K.Kamataki1,A.Yamamoto,M.Otaka,Y.Yamamoto,D.Yamashita,N.Yamashita,T.Okumura,N.Itagaki,K.Koga,M.Shiratani
eduPIC：用于射频等离子体模拟的基于粒子的介绍性代码
影响因子：
3.8
作者：
Z. Donkó;A. Derzsi;M. Vass;B. Horváth;S. Wilczek;B. Hartmann;P. Hartmann
通讯作者：
P. Hartmann
影响因子：
1.6
作者：
K. Kamataki;Daiki Nagamatsu;Tao Yang;Kohei Abe;A. Yamamoto;I. Nagao;Toshiaki Arima;M. Otaka;Yuma Yamamoto;D. Yamashita;T. Okumura;Naoto Yamashita;N. Itagaki;K. Koga;M. Shiratani
通讯作者：
K. Kamataki;Daiki Nagamatsu;Tao Yang;Kohei Abe;A. Yamamoto;I. Nagao;Toshiaki Arima;M. Otaka;Yuma Yamamoto;D. Yamashita;T. Okumura;Naoto Yamashita;N. Itagaki;K. Koga;M. Shiratani