Aligned defects behavior of β-FeSi_2 thin film on Si(100) substrate prepared by ion beam sputter deposition

Aligned defects behavior of β-FeSi_2 thin film on Si(100) substrate prepared by ion beam sputter deposition
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Si(100)衬底上离子束溅射沉积β-FeSi_2薄膜的定向缺陷行为

DOI:
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发表时间:
2008
期刊:
Journal of Physics : Conference Series 100
影响因子:
--
通讯作者:
et al.
et al.
中科院分区:
--
文献类型:
--
作者:
M Sasase;et al.

文献摘要

参考文献

被引文献

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