Mechanical Properties of Polycrystalline Titanium Nitride Films Measured by XRD Tensile Testing
Mechanical Properties of Polycrystalline Titanium Nitride Films Measured by XRD Tensile Testing
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通过 XRD 拉伸测试测量多晶氮化钛薄膜的机械性能
DOI：
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发表时间：
2005
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
Keiji Koterazawa
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Takahiro Namazu;Shozo Inoue;Hideki Takemoto;Keiji Koterazawa
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DOI：
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发表时间：
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通讯作者：
Keiji Koterazawa
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通讯作者：
T. Tanaka