Surface finishing method for micro channel-cut crystal X-ray monochromator using plasma chemical vaporization machining with wire electrode
Surface finishing method for micro channel-cut crystal X-ray monochromator using plasma chemical vaporization machining with wire electrode
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线电极等离子化学汽化加工微通道切割晶体X射线单色仪的表面精加工方法
DOI：
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发表时间：
2022
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
Makina Yabashi and Yasuhisa Sano
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Shotaro Matsumura;Iori Ogasahara;Taito Osaka;Ichiro Inoue;Kazuto Yamauchi;Makina Yabashi and Yasuhisa Sano
极紫外光刻（EUVL）掩模基板的要求和发展
DOI：
10.1117/12.373338
发表时间：
1999
期刊：
Photomask Technology
影响因子：
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作者：
W. Tong;John S. Taylor;S. Hector;M. Shell
通讯作者：
M. Shell
纯水中 SiO2 玻璃的催化化学抛光。
DOI：
10.1063/1.5090320
发表时间：
2019
期刊：
The Review of scientific instruments
影响因子：
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作者：
D. Toh;P. V. Bui;A. Isohashi;N. Kidani;S. Matsuyama;Y. Sano;Y. Morikawa;K. Yamauchi
通讯作者：
K. Yamauchi