Pulsed power to control growth of silicon nanoparticles in low temperature flowing plasmas
Pulsed power to control growth of silicon nanoparticles in low temperature flowing plasmas
复制标题
脉冲功率控制低温流动等离子体中硅纳米粒子的生长
DOI：
10.1063/5.0100380
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发表时间：
2022
影响因子：
3.2
通讯作者：
Kushner, Mark J.
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
Lanham, Steven J.;Polito, Jordyn;Xiong, Zichang;Kortshagen, Uwe R.;Kushner, Mark J.
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金属有机蒸气和单质硫非热等离子体合成金属硫化物纳米晶
DOI：
--
发表时间：
2015
期刊：
影响因子：
--
作者：
E. Thimsen;U. Kortshagen;E. Aydil
通讯作者：
E. Aydil
方波调制硅烷等离子体中硅纳米晶的径向生长速率和尺寸控制研究
DOI：
--
发表时间：
2007
期刊：
影响因子：
--
作者：
T. Nguyen;P. Cabarrocas;G. Patriarche
通讯作者：
G. Patriarche
影响因子：
3.5
作者：
Izadi, Alborz;Anthony, Rebecca J.
通讯作者：
Anthony, Rebecca J.
影响因子：
3.6
作者：
K. Akashi;Yasunori Tanaka;Y. Nakano;R. Furukawa;T. Ishijima;S. Sueyasu;S. Watanabe;K. Nakamura
通讯作者：
K. Akashi;Yasunori Tanaka;Y. Nakano;R. Furukawa;T. Ishijima;S. Sueyasu;S. Watanabe;K. Nakamura
电感耦合等离子体反应器中硅和锗纳米颗粒的形成
DOI：
--
发表时间：
1997
期刊：
影响因子：
--
作者：
C. Gorla;S. Liang;G. Tompa;W. Mayo;Yicheng Lu
通讯作者：
Yicheng Lu