Proton exchange and diffusion in LiNbO3 using inductance coupled high density plasma
Proton exchange and diffusion in LiNbO3 using inductance coupled high density plasma
复制标题
使用电感耦合高密度等离子体在 LiNbO3 中进行质子交换和扩散
DOI：
10.1116/1.2746052
复制
发表时间：
2007
期刊：
影响因子：
--
通讯作者：
Ren Z
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
Ren Z
登录
查看更多内容
电容耦合对电感耦合碳氟化合物等离子体处理的影响
DOI：
10.1116/1.582054
发表时间：
1999
期刊：
Journal of Vacuum Science and Technology
影响因子：
--
作者：
M. Schaepkens;N. R. Rueger;J. Beulens;Xi Li;T. Standaert;P. J. Matsuo;G. Oehrlein
通讯作者：
G. Oehrlein
使用聚焦离子束和二次离子质谱法对干法蚀刻 III-V 族半导体样品进行表面诊断
DOI：
--
发表时间：
1999
期刊：
影响因子：
--
作者：
Siyuan Yu;P. Heard;B. Cakmak;R. Penty;I. White
通讯作者：
I. White
低温氢等离子体处理的单晶 LiNbO3 表面：XPS、REELS 和 AFM 研究
DOI：
--
发表时间：
2002
期刊：
影响因子：
--
作者：
H. Turčičova;J. Zemek;J. Toth;I. Drbohlav
通讯作者：
I. Drbohlav
质子交换 LiNbO3 波导中折射率与氢浓度的关系
DOI：
--
发表时间：
1997
期刊：
影响因子：
--
作者：
Y. Korkishko;V. Fedorov
通讯作者：
V. Fedorov