Smooth and Conformal TiO2 Thin-Film Formation Using Supercritical Fluid Deposition
Smooth and Conformal TiO2 Thin-Film Formation Using Supercritical Fluid Deposition
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使用超临界流体沉积形成光滑、保形的 TiO2 薄膜
DOI：
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发表时间：
2013
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
Y. Shimogaki
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Yu Zhao;Kyubong Jung;T. Momose;Y. Shimogaki
超临界流体沉积与化学气相沉积铜膜的阶梯覆盖质量比较
影响因子：
1.5
作者：
Kenichiro Hirata;Shunsuke Gomi;Yasuhiro Mashiko;Shigeki Nakagawa;Takeshi Momose
通讯作者：
Takeshi Momose
影响因子：
1.5
作者：
T. Momose;M. Sugiyama;Y. Shimogaki
通讯作者：
T. Momose;M. Sugiyama;Y. Shimogaki