Effects of high temperature rapid thermal processing on oxygen precipitation in heavily arsenic-doped Czochralski silicon
Effects of high temperature rapid thermal processing on oxygen precipitation in heavily arsenic-doped Czochralski silicon
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高温快速热处理对重砷直拉硅中氧析出的影响
DOI：
10.1016/j.jcrysgro.2010.11.016
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发表时间：
2011-03
影响因子：
1.8
通讯作者：
Yang, Deren
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
Wang, Biao;Zhang, Xinpeng;Ma, Xiangyang;Yang, Deren
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影响因子：
1.9
作者：
Lei Lin;Xiangyang Ma;L. Zhong;Deren Yang
通讯作者：
Lei Lin;Xiangyang Ma;L. Zhong;Deren Yang
影响因子：
3.2
作者：
Xiangyang Ma;L. Fu;D. Tian;Deren Yang
通讯作者：
Xiangyang Ma;L. Fu;D. Tian;Deren Yang
影响因子：
31
作者：
E. Seebauer;M. Kratzer
通讯作者：
E. Seebauer;M. Kratzer
影响因子：
4
作者：
Thomas A. Frewen;T. Sinno
通讯作者：
Thomas A. Frewen;T. Sinno
DOI：
10.4028/www.scientific.net/msf.38-41.579
发表时间：
1991-01
期刊：
Materials Science Forum
影响因子：
--
作者：
J. Corbett;P. Deák;J. Lindström;L. Roth;L. Snyder
通讯作者：
J. Corbett;P. Deák;J. Lindström;L. Roth;L. Snyder