Improvement of Current Gain in 4H-SiC BJTs by Surface Passivation With Deposited Oxides Nitrided in N_2O or NO

Improvement of Current Gain in 4H-SiC BJTs by Surface Passivation With Deposited Oxides Nitrided in N_2O or NO
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通过在 N_2O 或 NO 中氮化的沉积氧化物进行表面钝化,提高 4H-SiC BJT 的电流增益

DOI:
--
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发表时间:
2011
影响因子:
4.9
通讯作者:
J.Suda
J.Suda
中科院分区:
工程技术2区
文献类型:
--
作者:
H.Miyake;T.Kimoto;J.Suda

文献摘要

参考文献

被引文献

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