LPP方式のEUV光源とその発生方法
LPP方式のEUV光源とその発生方法
复制标题
LPP EUV光源及其产生方法
DOI：
--
复制
发表时间：
2014
期刊：
影响因子：
--
通讯作者：
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
使用液滴激光等离子体靶产生无碎片软 X 射线
DOI：
10.1117/12.221000
发表时间：
1995
期刊：
Optics & Photonics
影响因子：
--
作者：
H. Hertz;L. Rymell;M. Berglund;L. Malmqvist
通讯作者：
L. Malmqvist
质量有限、无碎片激光等离子体 EUV 源
影响因子：
2.4
作者：
M. Richardson;D. Torres;C. DePriest;F. Jin;G. Shimkaveg
通讯作者：
G. Shimkaveg