Fabrication of high-Q lithium niobate microresonators using femtosecond laser micromachining.
Fabrication of high-Q lithium niobate microresonators using femtosecond laser micromachining.
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使用飞秒激光微加工制造高Q铌酸锂微谐振器
DOI：
10.1038/srep08072
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发表时间：
2015-01-28
影响因子：
4.6
通讯作者：
Cheng Y
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
Lin J;Xu Y;Fang Z;Wang M;Song J;Wang N;Qiao L;Fang W;Cheng Y
本文报道了采用飞秒激光直写结合聚焦离子束铣削技术在石英陶瓷上制备高Q值的铌酸锂回音壁模式微谐振器。微米级（直径~82 μm）LN谐振腔在1550 nm波长处的Q值约为2.5 × 105。 飞秒激光直写与FIB相结合，可以实现高Q值晶体微谐振器的高效率、高精度纳米加工。
We report on fabrication of high-Q lithium niobate (LN) whispering-gallery-mode (WGM) microresonators suspended on silica pedestals by femtosecond laser direct writing followed by focused ion beam (FIB) milling. The micrometer-scale (diameter ~82 μm) LN resonator possesses a Q factor of ~2.5 × 105 around 1550 nm wavelength. The combination of femtosecond laser direct writing with FIB enables high-efficiency, high-precision nanofabrication of high-Q crystalline microresonators.
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