Nano-Patterning of Organic-TiO_2 Hybrid Film
Nano-Patterning of Organic-TiO_2 Hybrid Film
复制标题
有机-TiO_2杂化薄膜的纳米图案化
DOI：
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发表时间：
2008
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
Shuichi Shibata
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Hiroyo Segawa;Tetsuji Yano;Shuichi Shibata
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通过水溶液合成和抗蚀剂图案转录相结合形成二氧化钛亚微米图案
DOI：
10.1111/j.1151-2916.2003.tb03594.x
发表时间：
2003
期刊：
影响因子：
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作者：
Naoshi Ozawa;H. Yabe;T. Yao
通讯作者：
T. Yao
影响因子：
3.5
作者：
Lim, Su Hui;Saifullah, M. S. M.;Low, Hong Yee
通讯作者：
Low, Hong Yee
影响因子：
2.5
作者：
Jang, HD;Kim, SK;Kim, SJ
通讯作者：
Kim, SJ
使用溶胶-凝胶衍生的 TiO2 抗蚀剂在化合物半导体上进行亚 100 nm 纳米光刻和图案转移
影响因子：
3.9
作者：
Boyang Liu;S. Ho
通讯作者：
S. Ho
通过溶胶-凝胶工艺制备环氧树脂/二氧化硅和环氧树脂/二氧化钛混合抗蚀剂用于纳米压印光刻
影响因子：
3.7
作者：
Chun;S. Hsu
通讯作者：
S. Hsu