High-resolution integrated piezoresistive sensors for microfluidic monitoring.
High-resolution integrated piezoresistive sensors for microfluidic monitoring.
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DOI：
10.1039/d0lc01046d
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发表时间：
2021-01-07
期刊：
影响因子：
6.1
通讯作者：
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
传统上，微流体装置由庞大且昂贵的芯片外传感器来监测。我们已经开发出一种软压阻传感器，能够测量微米级的应变，可以很容易地集成到设备通过软光刻。我们应用这种传感器来实现快速和本地化的压力，流量和阀门驱动监测。
Microfluidic devices are traditionally monitored by bulky and expensive off-chip sensors. We have developed a soft piezoresistive sensor capable of measuring micron-level strains that can be easily integrated into devices via soft lithography. We apply this sensor to achieve fast and localized monitoring of pressure, flow, and valve actuation.
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