Vertical-scanning profilometry having nanometric height resolution and scanning speed more than 40μm/s
Vertical-scanning profilometry having nanometric height resolution and scanning speed more than 40μm/s
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垂直扫描轮廓仪，具有纳米级高度分辨率，扫描速度超过40μm/s
DOI：
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发表时间：
2004
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
Masaaki Adachi
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Masaaki Adachi
DOI：
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发表时间：
2006
期刊：
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影响因子：
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作者：
Iroon Polytechniou-
通讯作者：
Iroon Polytechniou-
使用新算法（SEST 算法）通过白光干涉测量进行快速表面轮廓仪
DOI：
10.1117/12.453634
发表时间：
2001
期刊：
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影响因子：
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作者：
A. Hirabayashi;H. Ogawa;K. Kitagawa
通讯作者：
K. Kitagawa