Low Temperature, Wafer-Level Process of Alkali-Metal Vapor Cells for Micro-Fabricated Atomic Clocks

Low Temperature, Wafer-Level Process of Alkali-Metal Vapor Cells for Micro-Fabricated Atomic Clocks
复制标题

用于微型原子钟的碱金属蒸气电池的低温晶圆级工艺

DOI:
--
复制
发表时间:
2017
期刊:
影响因子:
--
通讯作者:
Osamu Tabata
Osamu Tabata
中科院分区:
--
文献类型:
--
作者:
Yoshikazu Hirai;Kenta Terashima;Katsuo Nakamura;Toshiyuki Tsuchiya;Osamu Tabata

文献摘要

参考文献

相似文献

DOI: 10.1109/tadvp.2006.875070
发表时间: 2006-08-01
影响因子: --
作者:
Howlader, M. M. R.;Suehara, S.;Suga, T.
通讯作者: Suga, T.
高度集成铷蒸气电池的晶圆级制造
DOI: 10.1109/memsys.2014.6765700
发表时间: 2014
期刊: 2014 IEEE 27th International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS)
影响因子: --
作者:
T. Overstolz;J. Haesler;G. Bergonzi;A. Pezous;Pierre;S. Ischer;J. Kaufmann;M. Despont
通讯作者: M. Despont
锁模光纤激光器的宽带频率调制。
DOI: 10.1364/ol.29.002351
发表时间: 2004
期刊: Optics Letters
影响因子: 3.6
作者:
F. Fatemi;J. W. Lou
通讯作者: J. W. Lou
用于芯片级原子钟的碱金属蜡微包
DOI: 10.1109/sensor.2005.1496349
发表时间: 2005
期刊: The 13th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems, 2005. Digest of Technical Papers. TRANSDUCERS '05.
影响因子: --
作者:
S. Radhakrishnan;A. Lal
通讯作者: A. Lal