Low Temperature, Wafer-Level Process of Alkali-Metal Vapor Cells for Micro-Fabricated Atomic Clocks
Low Temperature, Wafer-Level Process of Alkali-Metal Vapor Cells for Micro-Fabricated Atomic Clocks
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用于微型原子钟的碱金属蒸气电池的低温晶圆级工艺
DOI:
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发表时间:
2017
期刊:
影响因子:
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通讯作者:
Osamu Tabata
中科院分区:
文献类型:
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作者:
Yoshikazu Hirai;Kenta Terashima;Katsuo Nakamura;Toshiyuki Tsuchiya;Osamu Tabata
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影响因子:
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作者:
Howlader, M. M. R.;Suehara, S.;Suga, T.
通讯作者:
Suga, T.
DOI:
10.1109/memsys.2014.6765700
发表时间:
2014
期刊:
2014 IEEE 27th International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS)
影响因子:
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作者:
T. Overstolz;J. Haesler;G. Bergonzi;A. Pezous;Pierre;S. Ischer;J. Kaufmann;M. Despont
通讯作者:
M. Despont
影响因子:
3.6
作者:
F. Fatemi;J. W. Lou
通讯作者:
J. W. Lou
DOI:
10.1109/sensor.2005.1496349
发表时间:
2005
期刊:
The 13th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems, 2005. Digest of Technical Papers. TRANSDUCERS '05.
影响因子:
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作者:
S. Radhakrishnan;A. Lal
通讯作者:
A. Lal