Mechanical dicing of optical quality facets and waveguides in a silicon nitride platform
Mechanical dicing of optical quality facets and waveguides in a silicon nitride platform
复制标题
氮化硅平台中光学质量面和波导的机械切割
DOI：
10.1049/ell2.13138
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发表时间：
2024
影响因子：
1.1
通讯作者：
Gow P
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
Gow P
作者报告了一种用于在多层氮化硅平台中制造光学质量刻面而无需抛光的延性切割工艺。实现了1.5nm的表面粗糙度（Sa）。这种技术扩展到制作脊波导，结果和表征报告。
The authors report a ductile dicing process for manufacturing optical‐quality facets in a multi‐layered silicon nitride platform without the need for polishing. A surface roughness (Sa) of 1.5 nm was achieved. This technique was extended to fabricate ridge waveguides, and the results and characterization are reported.
使用延性切割方案进行硅基硅光子学的低光损耗刻面制备
影响因子：
--
作者：
Carpenter L
通讯作者：
Carpenter L
影响因子：
3.4
作者：
Bucio, Thalia Dominguez;Khokhar, Ali Z.;Gardes, Frederic Y.
通讯作者：
Gardes, Frederic Y.