Ab initio molecular dynamics simulation on stress reduction mechanism of Ti-doped diamond-like carbon films
Ab initio molecular dynamics simulation on stress reduction mechanism of Ti-doped diamond-like carbon films
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Ti掺杂类金刚石碳膜应力降低机理从头算分子动力学模拟
DOI：
10.1016/j.tsf.2014.11.072
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发表时间：
2015-06
期刊：
影响因子：
2.1
通讯作者：
Wang Aiying
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
Li Xiaowei;Ke Peiling;Wang Aiying
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