Modeling of coherence scanning interferometry using classical Fourier optics
Modeling of coherence scanning interferometry using classical Fourier optics
复制标题
使用经典傅立叶光学对相干扫描干涉测量进行建模
DOI：
10.1117/1.oe.60.10.104106
复制
发表时间：
2021
影响因子：
1.3
通讯作者：
De Groot P
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
De Groot P
登录
查看更多内容
DOI：
--
发表时间：
1967
期刊：
影响因子：
--
作者：
B. Frieden;Roy Frieden;B. Boley
通讯作者：
B. Boley
通过相移和白光干涉测量获得的粗糙度测量之间的差异。
影响因子：
1.9
作者：
H. Rhee;T. Vorburger;Jonathan W. Lee;J. Fu
通讯作者：
J. Fu
基于模型的尺寸光学计量
DOI：
--
发表时间：
2020
期刊：
影响因子：
--
作者：
J. Bischoff;T. Pahl;P. Lehmann;E. Manske
通讯作者：
E. Manske
低相干干涉测量在高精度微观形状测量中的局限性和优化
DOI：
--
发表时间：
2009
期刊：
影响因子：
--
作者：
P. Lehmann;J. Niehues
通讯作者：
J. Niehues
DOI：
--
发表时间：
2020
期刊：
Optical Engineering + Applications
影响因子：
--
作者：
P. D. de Groot;X. Colonna de Lega
通讯作者：
X. Colonna de Lega