An Excimer Laser Heated Plasma Soft X-Ray Source for Microlithography
An Excimer Laser Heated Plasma Soft X-Ray Source for Microlithography
用于微光刻的准分子激光加热等离子体软 X 射线源
批准号：
8212856
负责人：
George Albrecht
金额：
$19.96万
依托单位：
依托单位国家：
美国
项目类别：
Continuing Grant
财政年份：
1983
资助国家：
美国
项目状态：
已结题
起止时间：
1983-09-01 至 1985-08-31
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基于激光与管电极电解同步复合（Laser-STEM）的低损伤大深度小孔加工技术基础研究
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批准号：51905525
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项目类别：青年科学基金项目
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资助金额：26.0万元
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批准年份：2019
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负责人：王玉峰
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依托单位：
长链非编码RNA lnc-LASER通过HNF-1α-PCSK9 调控肝脏胆固醇平衡的机制研究
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批准号：81600343
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项目类别：青年科学基金项目
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资助金额：17.5万元
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批准年份：2016
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负责人：李传伟
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依托单位：
