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Industry/University Cooperative Research Activity: ChemicalKinetic and Surface Studies in Support of the Plasma EtchingMechanism

Industry/University Cooperative Research Activity: ChemicalKinetic and Surface Studies in Support of the Plasma EtchingMechanism
工业/大学合作研究活动：支持等离子蚀刻机制的化学动力学和表面研究
批准号：
8306198
负责人：
Joda Wormhoudt
金额：
$35.63万
依托单位：
Aerodyne Research Inc
依托单位国家：
美国
项目类别：
Continuing Grant
财政年份：
1983
资助国家：
美国
项目状态：
已结题
起止时间：
1983-12-01 至 1987-05-31
来源：
https://www.nsf.gov/awardsearch/showAward?AWD_ID=8306198&HistoricalAwards=false
关键词：
IndustryUniversityCooperativeResearchActivity

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STTR Phase I: Soil Carbon Monitor
  • 批准号：
    0539374
  • 项目类别：
    Standard Grant
  • 资助金额：
    $10.0万
  • 财政年份：
    2006
  • 负责人：
    Joda Wormhoudt
  • 依托单位：
    Aerodyne Research Inc
SBIR/STTR Phase II: Microchip-Laser-Based Optical Alloy Analysis Instrument
  • 批准号：
    0216309
  • 项目类别：
    Standard Grant
  • 资助金额：
    $50.0万
  • 财政年份：
    2002
  • 负责人：
    Joda Wormhoudt
  • 依托单位：
    Aerodyne Research Inc
SBIR Phase I: Microchip-Laser-Based Optical Alloy Analysis Instrument
  • 批准号：
    0109257
  • 项目类别：
    Standard Grant
  • 资助金额：
    $10.0万
  • 财政年份：
    2001
  • 负责人：
    Joda Wormhoudt
  • 依托单位：
    Aerodyne Research Inc
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