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Research Initiation: Spectroscopic Investigation of Beam Assisted Thin Film Deposition Process

Research Initiation: Spectroscopic Investigation of Beam Assisted Thin Film Deposition Process
研究启动：光束辅助薄膜沉积工艺的光谱研究
批准号：
8503194
负责人：
Rajendra Solanki
金额：
$1.86万
依托单位：
Colorado State University
依托单位国家：
美国
项目类别：
Standard Grant
财政年份：
1985
资助国家：
美国
项目状态：
已结题
起止时间：
1985-05-01 至 1986-06-15
来源：
https://www.nsf.gov/awardsearch/showAward?AWD_ID=8503194&HistoricalAwards=false
关键词：
ResearchInitiationSpectroscopicInvestigationBeam

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