Research Initiation: Impact of Gaseous Electronics on the Plasma Processing of Materials
Research Initiation: Impact of Gaseous Electronics on the Plasma Processing of Materials
研究启动：气态电子对材料等离子加工的影响
批准号：
8504781
负责人：
Yonhua Tzeng
金额：
$7.0万
依托单位：
依托单位国家：
美国
项目类别：
Standard Grant
财政年份：
1985
资助国家：
美国
项目状态：
已结题
起止时间：
1985-06-15 至 1987-11-30
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会议论文
Japan Long-Term Research Visit: Basic Mechanisms and Engineering Issues for the Fabrication of Smooth Diamond andCubic Boron Nitride Films
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批准号：9200869
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项目类别：Standard Grant
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资助金额：$4.7万
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财政年份：1992
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负责人：Yonhua Tzeng
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依托单位：
International Conference on the Applications of Diamond Films and Related Materials to be held in Auburn, Alabama on August 20-22, 1991
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批准号：9106990
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项目类别：Standard Grant
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资助金额：$0.5万
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财政年份：1991
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负责人：Yonhua Tzeng
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依托单位：
Engineering Research Equipment Grant: Auger Electron Spectroscopy System for Microelectronics and Material Surface Research
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批准号：8506546
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项目类别：Standard Grant
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资助金额：$9.0万
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财政年份：1985
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负责人：Yonhua Tzeng
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依托单位：
海外基金
