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Precipitation Reaction Nanochemistry on Silicon: Oxygen and Carbon Distribution
硅上的沉淀反应纳米化学：氧和碳的分布
基本信息
- 批准号：8901841
- 负责人：
- 金额：$ 30万
- 依托单位：
- 依托单位国家：美国
- 项目类别：Continuing Grant
- 财政年份：1990
- 资助国家：美国
- 起止时间：1990-01-15 至 1993-12-31
- 项目状态：已结题
- 来源：
- 关键词：
项目摘要
The objectives of this research are direct measurement of the composition and structure of the metastable and stable reaction products; to determine the relative importance of oxygen, carbon, and silicon self-interstitials on the stability of the reaction products; to improve the understanding of the transformation mechanism. The methods of analysis are high spatial resolution electron energy loss spectroscopy and high resolution electron microscopy.
本研究的目的是直接测量亚稳态和稳定反应产物的组成和结构；确定氧、碳和硅自填隙对反应产物稳定性的相对重要性；提高对转化机制的认识。 分析方法是高空间分辨率电子能量损失谱和高分辨率电子显微镜。
项目成果
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