Chemical Vapor Disposition Under Kinetic Control: A Contribution to the Development of New Precursors and the Elucidation of Film Growth Mechanisms

动力学控制下的化学气相沉积:对新型前体开发和薄膜生长机制阐明的贡献

基本信息

  • 批准号:
    9107722
  • 负责人:
  • 金额:
    $ 39.9万
  • 依托单位:
  • 依托单位国家:
    美国
  • 项目类别:
    Continuing Grant
  • 财政年份:
    1991
  • 资助国家:
    美国
  • 起止时间:
    1991-08-01 至 1995-01-31
  • 项目状态:
    已结题

项目摘要

This collaborative award, made under the Materials Chemistry and Chemical Processing Initiative is supported by the Divisions of Chemistry, Materials Research, and Chemical and Thermal Systems. New precursors will be prepared that will participate in the chemical vapor deposition of high-performance semiconductors and ceramic materials under kinetic control. Intermediates in chemical vapor deposition and vapor phase epitaxy will be identified and their reactivity will be correlated with film growth. Mechanisms of film growth will also be studied. A novel reactor system will be employed permitting new approaches to the identification, and spatial and temporal monitoring of species formed upon thermal decomposition of gaseous precursor molecules at solid surfaces. %%% Reactive intermediates formed from precursors used in established vapor deposition and vapor-phase epitaxy processes are largely unknown. Identifying them and monitoring their reaction rates will contribute to more effective process control and also extend to the deposition of entirely new materials.
这个合作奖,根据材料化学 和化学加工倡议得到了 化学、材料研究和化学与 热系统。将制备新的前体, 参与化学气相沉积, 高性能半导体和陶瓷材料 动力学控制化学气相沉积中间体 气相外延将确定和它们的反应性 将与薄膜生长相关。薄膜生长机理 也将被研究。将采用一种新颖的反应堆系统 允许新的方法来识别,空间 和时间监测的物种形成时,热 气体前体分子在固体表面的分解。 %%% 由用于制造有机硅的前体形成的反应性中间体 已建立的气相沉积和气相外延工艺 大部分都是未知的。识别它们并监测它们的 反应速率将有助于更有效的过程 控制,也延伸到沉积全新的 材料.

项目成果

期刊论文数量(0)
专著数量(0)
科研奖励数量(0)
会议论文数量(0)
专利数量(0)

数据更新时间:{{ journalArticles.updateTime }}

{{ item.title }}
{{ item.translation_title }}
  • DOI:
    {{ item.doi }}
  • 发表时间:
    {{ item.publish_year }}
  • 期刊:
  • 影响因子:
    {{ item.factor }}
  • 作者:
    {{ item.authors }}
  • 通讯作者:
    {{ item.author }}

数据更新时间:{{ journalArticles.updateTime }}

{{ item.title }}
  • 作者:
    {{ item.author }}

数据更新时间:{{ monograph.updateTime }}

{{ item.title }}
  • 作者:
    {{ item.author }}

数据更新时间:{{ sciAawards.updateTime }}

{{ item.title }}
  • 作者:
    {{ item.author }}

数据更新时间:{{ conferencePapers.updateTime }}

{{ item.title }}
  • 作者:
    {{ item.author }}

数据更新时间:{{ patent.updateTime }}

Peter Gaspar其他文献

Active Suspension Design using LPV Control
  • DOI:
    10.1016/s1474-6670(17)30403-2
  • 发表时间:
    2004-04-01
  • 期刊:
  • 影响因子:
  • 作者:
    Peter Gaspar;Istvan Szaszi;Jozsef Bokor
  • 通讯作者:
    Jozsef Bokor
The Application of Linear Parameter Narying Control to Active Suspension Design
  • DOI:
    10.1016/s1474-6670(17)35703-8
  • 发表时间:
    2003-06-01
  • 期刊:
  • 影响因子:
  • 作者:
    Peter Gaspar;Istvan Szaszi;Jozsef Bokor
  • 通讯作者:
    Jozsef Bokor
Estimating Road Roughness by Using A Linear Parameter Varying Model
  • DOI:
    10.1016/s1474-6670(17)35647-1
  • 发表时间:
    2003-06-01
  • 期刊:
  • 影响因子:
  • 作者:
    Peter Gaspar;Zoltan Szabo;Jozsef Bokor
  • 通讯作者:
    Jozsef Bokor
Rollover Stability Control for Heavy Vehicles by Using LPV Model
  • DOI:
    10.1016/s1474-6670(17)30421-4
  • 发表时间:
    2004-04-01
  • 期刊:
  • 影响因子:
  • 作者:
    Peter Gaspar;Istvan Szaszi;Jozsef Bokor
  • 通讯作者:
    Jozsef Bokor
Improving rollover stability with active suspensions by using an LPV method
  • DOI:
    10.1016/s1474-6670(17)32075-x
  • 发表时间:
    2004-07-01
  • 期刊:
  • 影响因子:
  • 作者:
    Peter Gaspar;Istvan Szaszi;Jozsef Bokor
  • 通讯作者:
    Jozsef Bokor

Peter Gaspar的其他文献

{{ item.title }}
{{ item.translation_title }}
  • DOI:
    {{ item.doi }}
  • 发表时间:
    {{ item.publish_year }}
  • 期刊:
  • 影响因子:
    {{ item.factor }}
  • 作者:
    {{ item.authors }}
  • 通讯作者:
    {{ item.author }}

{{ truncateString('Peter Gaspar', 18)}}的其他基金

Mechanistic Probes in Main Group Chemistry Employing Highly Reactive Species Containing Electron-Deficient Atoms
使用含有缺电子原子的高反应性物质的主族化学中的机械探针
  • 批准号:
    1213696
  • 财政年份:
    2012
  • 资助金额:
    $ 39.9万
  • 项目类别:
    Standard Grant
Kinetic and Mechanistic Studies of Highly Reactive Species Containing Electron-Deficient Main Group Atoms, and the Synthesis of Novel Molecules
含缺电子主族原子的高反应性物质的动力学和机理研究以及新型分子的合成
  • 批准号:
    0316124
  • 财政年份:
    2003
  • 资助金额:
    $ 39.9万
  • 项目类别:
    Continuing Grant
Kinetic and Mechanistic Studies of Highly Reactive Species Containing Electron-Deficient Main Group Atoms, and the Synthesis of Novel Molecules
含缺电子主族原子的高反应性物质的动力学和机理研究以及新型分子的合成
  • 批准号:
    9981759
  • 财政年份:
    2000
  • 资助金额:
    $ 39.9万
  • 项目类别:
    Continuing Grant
Kinetic and Mechanistic Studies of Highly Reactive Species Containing Electron-Deficient Main Group Atoms, and the Synthesis of Novel Molecules
含缺电子主族原子的高反应性物质的动力学和机理研究以及新型分子的合成
  • 批准号:
    9632897
  • 财政年份:
    1996
  • 资助金额:
    $ 39.9万
  • 项目类别:
    Continuing Grant
Kinetic and Mechanistic Studies of Highly Reactive Species Containing Electron-Deficient Main Group Atoms, and the Synthesis of Novel Molecules
含缺电子主族原子的高反应性物质的动力学和机理研究以及新型分子的合成
  • 批准号:
    9108130
  • 财政年份:
    1991
  • 资助金额:
    $ 39.9万
  • 项目类别:
    Continuing Grant
US-France Cooperative Research: Generation, Structural Characterization, and Chemistry of New Free Phosphinidenes and Phosphinidene-Metal Complexes
美法合作研究:新型游离膦亚胺和膦亚胺-金属配合物的生成、结构表征和化学
  • 批准号:
    8914578
  • 财政年份:
    1990
  • 资助金额:
    $ 39.9万
  • 项目类别:
    Standard Grant
Kinetic and Mechanistic Studies of Carbenes, Silylenes, and Germylenes
卡宾、硅烯和甲锗烷的动力学和机理研究
  • 批准号:
    8802677
  • 财政年份:
    1988
  • 资助金额:
    $ 39.9万
  • 项目类别:
    Continuing Grant
Kinetic and Mechanistic Studies of Carbenes, Silylenes and Germylenes
卡宾、硅烯和甲锗烯的动力学和机理研究
  • 批准号:
    8414358
  • 财政年份:
    1985
  • 资助金额:
    $ 39.9万
  • 项目类别:
    Continuing Grant
Mechanisms of Chemical Reactions of Carbenes
卡宾的化学反应机理
  • 批准号:
    8019638
  • 财政年份:
    1981
  • 资助金额:
    $ 39.9万
  • 项目类别:
    Continuing Grant
Mechanistic Studies in Carbene Chemistry
卡宾化学机理研究
  • 批准号:
    7520163
  • 财政年份:
    1976
  • 资助金额:
    $ 39.9万
  • 项目类别:
    Continuing Grant

相似海外基金

Collaborative Research: Liquid Crystal-Templated Chemical Vapor Polymerization of Complex Nanofiber Networks
合作研究:复杂纳米纤维网络的液晶模板化学气相聚合
  • 批准号:
    2322900
  • 财政年份:
    2024
  • 资助金额:
    $ 39.9万
  • 项目类别:
    Standard Grant
Continuing Measurements of Water Vapor, Clouds, Aerosol, and Waves Above, and Across, the Tropical Tropopause Layer with in Situ Instruments on Circum-Tropical Isopycnic Balloons
使用环热带等密度气球上的现场仪器持续测量热带对流层顶层上方和上方的水蒸气、云、气溶胶和波浪
  • 批准号:
    2336110
  • 财政年份:
    2024
  • 资助金额:
    $ 39.9万
  • 项目类别:
    Continuing Grant
Collaborative Research: Liquid Crystal-Templated Chemical Vapor Polymerization of Complex Nanofiber Networks
合作研究:复杂纳米纤维网络的液晶模板化学气相聚合
  • 批准号:
    2322899
  • 财政年份:
    2024
  • 资助金额:
    $ 39.9万
  • 项目类别:
    Standard Grant
CAREER: A coupled multiscale study of phase change dynamics at curved liquid-vapor interfaces
职业:弯曲液-汽界面相变动力学的耦合多尺度研究
  • 批准号:
    2339757
  • 财政年份:
    2024
  • 资助金额:
    $ 39.9万
  • 项目类别:
    Continuing Grant
Strateole-2: Atmospheric Wave Influences on Cirrus, Water Vapor, and Global Circulation Near the Tropical Tropopause
Strateole-2:大气波对热带对流层顶附近的卷云、水蒸气和全球环流的影响
  • 批准号:
    2231667
  • 财政年份:
    2023
  • 资助金额:
    $ 39.9万
  • 项目类别:
    Standard Grant
Sustainability in Vapor-phase Nitrogen of a World-class Frozen Biorepository at the Museum of Southwestern Biology
西南生物博物馆世界级冷冻生物储存库气相氮的可持续性
  • 批准号:
    2308707
  • 财政年份:
    2023
  • 资助金额:
    $ 39.9万
  • 项目类别:
    Continuing Grant
Pore Formation and Polymer Thermal Debinding during Vapor-Induced Phase Separation-Enabled Metal Printing
蒸汽诱导相分离金属打印过程中的孔形成和聚合物热脱脂
  • 批准号:
    2315811
  • 财政年份:
    2023
  • 资助金额:
    $ 39.9万
  • 项目类别:
    Standard Grant
Analysis and modeling of liquid-vapor phase change phenomena by measuring the nonequilibrium velocity distribution of evaporating molecules
通过测量蒸发分子的非平衡速度分布来分析和建模液-汽相变现象
  • 批准号:
    23H01338
  • 财政年份:
    2023
  • 资助金额:
    $ 39.9万
  • 项目类别:
    Grant-in-Aid for Scientific Research (B)
Collaborative Research: Machine Learning-assisted Ultrafast Physical Vapor Deposition of High Quality, Large-area Functional Thin Films
合作研究:机器学习辅助超快物理气相沉积高质量、大面积功能薄膜
  • 批准号:
    2226918
  • 财政年份:
    2023
  • 资助金额:
    $ 39.9万
  • 项目类别:
    Standard Grant
New hypothesis for cause of the Middle Pleistocene Transition "Water Vapor Hypothesis"
中更新世过渡成因的新假说“水蒸气假说”
  • 批准号:
    22KJ0093
  • 财政年份:
    2023
  • 资助金额:
    $ 39.9万
  • 项目类别:
    Grant-in-Aid for JSPS Fellows
{{ showInfoDetail.title }}

作者:{{ showInfoDetail.author }}

知道了