REG：真空 X 射线光电子能谱系统：用于热丝和直流等离子体协同增强化学气相沉积生长的金刚石薄膜的表面分析-猫眼课题宝

REG：真空 X 射线光电子能谱系统：用于热丝和直流等离子体协同增强化学气相沉积生长的金刚石薄膜的表面分析

批准号：

9112098

负责人：

Jeffrey Glass

金额：

$6.8万

依托单位：

North Carolina State University

依托单位国家：

美国

项目类别：

Standard Grant

财政年份：

1991

资助国家：

美国

项目状态：

已结题

起止时间：

1991-07-01 至 1992-12-31

来源：

https://www.nsf.gov/awardsearch/showAward?AWD_ID=9112098&HistoricalAwards=false

关键词：

REG vacuo ray Photoelectron Spectroscopic

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An X-ray photoelectron spectroscopic (XPS) surface analysis system will be purchased and constructed to support a number of studies of diamond film growth. The equipment will permit in situ studies of the nature of the chemical bonds which form during film growth for diamond films grown by hot filament and DC plasma co-enhanced chemical vapor deposition. The results will be used to determine the growth mechanisms and details of the surface properties.

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