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REG: I/R Microscope
REG：红外线显微镜
基本信息
- 批准号：9212707
- 负责人：
- 金额：$ 5万
- 依托单位：
- 依托单位国家：美国
- 项目类别：Standard Grant
- 财政年份：1992
- 资助国家：美国
- 起止时间：1992-08-15 至 1993-07-31
- 项目状态：已结题
- 来源：
- 关键词：
项目摘要
The award supports the purchase of an infrared microscope, video camera, recorder and a sectioning saw equipment dedicated to support measurement of delamination profiles in silicon/polymer/metal microelectronic structures, measurement of stresses at bimaterial corners, and measurement of residual stresses in the silicon component of encapsulated microelectronic devices.
该奖项支持购买红外显微镜，摄像机，记录仪和切片锯设备，用于支持测量硅/聚合物/金属微电子结构中的分层轮廓，测量双材料角处的应力，以及测量封装微电子设备的硅组件中的残余应力。
项目成果
期刊论文数量（0）
专著数量（0）
科研奖励数量（0）
会议论文数量（0）
专利数量（0）
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