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Mathematical Modelling and Computer Control of Focused Ion Beam Machining
聚焦离子束加工的数学建模和计算机控制
基本信息
- 批准号：9503204
- 负责人：
- 金额：$ 18.8万
- 依托单位：
- 依托单位国家：美国
- 项目类别：Standard Grant
- 财政年份：1996
- 资助国家：美国
- 起止时间：1996-04-01 至 1999-03-31
- 项目状态：已结题
- 来源：
- 关键词：
项目摘要
9503204 Vasile The purpose of this project is the development of a mathematical model of Focused Ion Beam (FIB) etch processes, enabling the fabrication of unique microstructures. Three-dimensional test objects will be designed and fabricated using the model, such as probe microscope tips and cavities with pre-specified geometeries. The activities will provide a link between object design FIB control, and microstructure fabrication. ***
9503204 Vasile该项目的目的是开发聚焦离子束（FIB）蚀刻工艺的数学模型，从而能够制造独特的微结构。 三维测试对象将使用该模型设计和制造，如探针显微镜尖端和腔与预先指定的几何。 这些活动将提供物体设计FIB控制和微结构制造之间的联系。 ***
项目成果
期刊论文数量（0）
专著数量（0）
科研奖励数量（0）
会议论文数量（0）
专利数量（0）
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