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Mathematical Modelling and Computer Control of Focused Ion Beam Machining

Mathematical Modelling and Computer Control of Focused Ion Beam Machining
聚焦离子束加工的数学建模和计算机控制
批准号：
9503204
负责人：
Michael Vasile
金额：
$18.8万
依托单位：
Louisiana Tech University
依托单位国家：
美国
项目类别：
Standard Grant
财政年份：
1996
资助国家：
美国
项目状态：
已结题
起止时间：
1996-04-01 至 1999-03-31
来源：
https://www.nsf.gov/awardsearch/showAward?AWD_ID=9503204&HistoricalAwards=false
关键词：
MathematicalModellingComputerControlFocused

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9503204 Vasile The purpose of this project is the development of a mathematical model of Focused Ion Beam (FIB) etch processes, enabling the fabrication of unique microstructures. Three-dimensional test objects will be designed and fabricated using the model, such as probe microscope tips and cavities with pre-specified geometeries. The activities will provide a link between object design FIB control, and microstructure fabrication. ***
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会议论文
ARI: Advanced Post Processing Instrumentation for Miniaturization Technologies
  • 批准号：
    9601720
  • 项目类别：
    Standard Grant
  • 资助金额：
    $60.0万
  • 财政年份：
    1996
  • 负责人：
    Michael Vasile
  • 依托单位：
    Louisiana Tech University
国内基金
海外基金
Improving modelling of compact binary evolution.
  • 批准号：
    10903001
  • 项目类别：
    青年科学基金项目
  • 资助金额：
    20.0万元
  • 批准年份：
    2009
  • 负责人：
    史蒂芬
  • 依托单位：
    北京大学