Untersuchung der Plasmaparameter einer niederfrequenten induktiven Entladung mit adiabatischer Kompression

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In dem angestrebten Vorhaben soll eine neue Methode zur effizienten induktiven Plasmaanregung näher untersucht werden. Das Konzept ermöglicht die Erzeugung eines induktiven Entladungsplasmas im Niederfrequenzbereich, unterhalb von 30kHz. Dabei kommt es zur Ausprägung von Lorentzkräften die zu einer adiabatischen Kompression des Plasmas führen, wodurch sich sowohl die Plasmadichte, als auch die Temperatur lokal um einige Größenordnungen erhöhen. Schwerpunkt dieses beantragten Forschungsvorhabens sind grundlegende Untersuchungen hierzu. Als experimentelle Richtlinien sind die Bestimmung der Plasmaparameter, sowie deren Verhalten bei einer adiabatischen Zustandsänderung zu benennen. Besondere Priorität hat die spektroskopische Diagnostik, die auch zur Quantifizierung der entstehenden VUV-Strahlung dient. Die Zielsetzung ist eine Steigerung der Elektronendichte weit über die bisher mit induktiven Entladungsplasmen erreichbaren 1019m-3 hinaus und eine Erhöhung der Plasmatemperatur durch adiabatische Heizung. Dabei ist es wichtig zu untersuchen in wieweit die experimentell ermittelten Zustandsgrößen von der idealen Beschreibung des Plasmas abweichen.