Integration of multifunctional nanoanalytic (A12*)

多功能纳米分析的集成 (A12*)

• 批准号: 137440808
• 金额: --
• 依托单位: Lehrstuhl für Mikrosystemtechnik
• 依托单位国家: 德国
• 项目类别: Collaborative Research Centres
• 财政年份: 2009
• 资助国家: 德国
• 起止时间: 2008-12-31 至 2012-12-31
• 项目状态: 已结题
• 来源: https://gepris.dfg.de/gepris/projekt/137440808?language=en
• 关键词: Integration; multifunctional; nanoanalytic; A12

Durch Integration unterschiedlicher Verfahren in einen automatisierten Wechsler für Messspitzen wird eine neue Qualität der Nanoanalytik erschlossen. Das Konzept der NPM-Maschinen erlaubt eine positionsgenaue sequentielle Kombination unterschiedlicher Messprinzipien mit Nanometerauflösung in einem extrem großen Messvolumen. Dabei geht es sowohl um die Integration bekannter Nanoanalytik-Verfahren mit Hilfe eins Wechsler-Konzepts als auch um neuartige Systeme für die 3D-Messung mit seitlicher Antastung und vollständiger Integration des Antastsystems in einen dreidimensional strukturierten Si-Wafer.

在一个自动化的Wechsler für Messspitzen中，DIGITAL Integration unterreplyedlicher Verfahren wird eine neue Qualität der Nanoanalytik erschlossen。Das Konzept der NPM-Maschinen erlaubt eine positionsgenaue sequentielle Combination unteriedlicher Messprinzipien mit Nanometerauflösung in einem extreme greßen Messvolumen. Dabei geht es sowohl um die Integration bekannter Nanoanalytik-Verfahren mit Hilfe eins Wechsler-Konzepts als auch um neuartige Systeme für die 3D-Messung mit seitlicher Antastung und vollständiger Integration des Antastsystems in einen dreidimensional structurierten Si-Wafer.