Integration of multifunctional nanoanalytic (A12*)

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Durch Integration unterschiedlicher Verfahren in einen automatisierten Wechsler für Messspitzen wird eine neue Qualität der Nanoanalytik erschlossen. Das Konzept der NPM-Maschinen erlaubt eine positionsgenaue sequentielle Kombination unterschiedlicher Messprinzipien mit Nanometerauflösung in einem extrem großen Messvolumen. Dabei geht es sowohl um die Integration bekannter Nanoanalytik-Verfahren mit Hilfe eins Wechsler-Konzepts als auch um neuartige Systeme für die 3D-Messung mit seitlicher Antastung und vollständiger Integration des Antastsystems in einen dreidimensional strukturierten Si-Wafer.