NEMS/MEMS-Herstellung von Sensoren und Sensorarrays (C02)

传感器和传感器阵列的 NEMS/MEMS 生产 (C02)

• 批准号: 158270896
• 金额: --
• 依托单位: Fraunhofer-Institut für Siliziumtechnologie (ISIT)
• 依托单位国家: 德国
• 项目类别: Collaborative Research Centres
• 财政年份: 2010
• 资助国家: 德国
• 起止时间: 2009-12-31 至 2013-12-31
• 项目状态: 已结题
• 来源: https://gepris.dfg.de/gepris/projekt/158270896?language=en
• 关键词: NEMS; MEMS; Herstellung; von; Sensoren

Ziel dieses Teilprojekts ist die integrierte Herstellung von ME Sensoren und Sensorarrays mit Methoden der Mikro- bzw. Nanosystemtechnik. Die Schwerpunkte dieses Projekts in der ersten Antragsphase betreffen die Integration von ME Materialien auf bewegliche mikromechanische Strukturen einschließlich der Aufbau- und Verbindungstechnik, die Untersuchung der Effektverstärkung durch mechanische Resonanzen und die Entwicklung von ME Vektorfeldsensoren. Diese Arbeiten sollen am neuen Kieler Nanolabor, für bestimmte Technologien auch am Fraunhofer-Institut für Siliziumtechnologie in Itzehoe durchgeführt werden.

齐尔·德斯特尔项目：基于微传感器和传感器阵列的集成技术。Nanosystemtechnik。Die Schwerpunkte dieses项目在Die Die interstrachin相集成von ME材料的auwegliche微观机械结构和Aufbau- und verkindungstechnik， Die Untersuchung der Effektverstärkung durch mechanichesanzen和Die Entwicklung von ME Vektorfeldsensoren。德国德国德国德国德国<s:1>纳米技术研究所<s:1>硅纳米技术研究中心，德国德国德国德国。