NEMS/MEMS-Herstellung von Sensoren und Sensorarrays (C02)

Zil Dieses the Teilprojekts ist die intergrerte Herstellung von ME Sensoren and Sensorarns MIT Methoden der Mikro-BZW.NanosystemTechnik.在材料的集成和宏观机制之间的关系中，这些技术和项目是不可缺少的，因为这些材料的宏观机制不同于其他材料。在Itzehoe duchgeführt werden，Diese arbeiten Sollen am neuen Kieler Nanolabor，für bstimte Technologien auch am Fraunhofer-Institut für Silizium Technologie in Itzehoe duchgeführden.

Ziel dieses Teilprojekts ist die integrierte Herstellung von ME Sensoren und Sensorarrays mit Methoden der Mikro- bzw. Nanosystemtechnik. Die Schwerpunkte dieses Projekts in der ersten Antragsphase betreffen die Integration von ME Materialien auf bewegliche mikromechanische Strukturen einschließlich der Aufbau- und Verbindungstechnik, die Untersuchung der Effektverstärkung durch mechanische Resonanzen und die Entwicklung von ME Vektorfeldsensoren. Diese Arbeiten sollen am neuen Kieler Nanolabor, für bestimmte Technologien auch am Fraunhofer-Institut für Siliziumtechnologie in Itzehoe durchgeführt werden.