NEMS/MEMS-Herstellung von Sensoren und Sensorarrays (C02)

这些项目是采用微波方法集成ME传感器和传感器阵列。纳米系统技术第一个声发射中的Schwerpunkte项目是将微机械结构与结构技术相结合，通过机械共振和微机械传感器的发展来研究微机械结构的效应。Diese Arbeiten sollen am neuen Kieler Nanolabor，für bestimmte Technologien auch am Fraunhofer-Institut für Siliziumtechnologie in Itzehoe durchgeführt韦尔登。

Ziel dieses Teilprojekts ist die integrierte Herstellung von ME Sensoren und Sensorarrays mit Methoden der Mikro- bzw. Nanosystemtechnik. Die Schwerpunkte dieses Projekts in der ersten Antragsphase betreffen die Integration von ME Materialien auf bewegliche mikromechanische Strukturen einschließlich der Aufbau- und Verbindungstechnik, die Untersuchung der Effektverstärkung durch mechanische Resonanzen und die Entwicklung von ME Vektorfeldsensoren. Diese Arbeiten sollen am neuen Kieler Nanolabor, für bestimmte Technologien auch am Fraunhofer-Institut für Siliziumtechnologie in Itzehoe durchgeführt werden.