Thermal stability of metal nitride superlattices studied by means of Atom Probe Tomography

Metallnitrid-Übergitter sind von großem Interesse für den Einherals Hartstoff- Schutzschichten aufgrund ihrer hohen Härte und Verschleißbeständigkeit sowie Korrosions- und Oxidationsbeständigkeit.在我们所知的临界点中，在最佳温度下氮的含量是热稳定性。所以可以z.B. für mischbare Systeme bei Wärmezuführung eine Interdiffusion zwischen den einzelnen Lagen auftreten，die zu diffusen Grenzflächen und einem Auflösen der Lagenstruktur führen kann. Desweiteren können sich Oxidschichten auf der Oberfläche der Beschichtung bilden.这将是一个令人惊奇的现象，即纳米结构中的一个问题，它是由一个制造工艺特征的修正和由一个设计工艺系统修正而成的。目前还没有研究过纳米尺度下的金属氮化物的概念，而是在高温下进行的。Folglich is der Zusammenhang zwischen ubergitter-Struktur and makroskopischen Eigenschaften noch nicht gut verstanden.本课题是利用原子声成像（APT）、透射电子显微镜（TEM）和X射线衍射（XRD）系统研究AlN/CrN热稳定性。

Metallnitrid-Übergitter sind von großem Interesse für den Einsatz als Hartstoff- Schutzschichten aufgrund ihrer hohen Härte und Verschleißbeständigkeit sowie Korrosions- und Oxidationsbeständigkeit. Ein wesentliches Kriterium, das den Einsatz von Nitrid-Übergittern bei höheren Temperaturen bestimmt, ist die thermische Stabilität. So kann z.B. für mischbare Systeme bei Wärmezuführung eine Interdiffusion zwischen den einzelnen Lagen auftreten, die zu diffusen Grenzflächen und einem Auflösen der Lagenstruktur führen kann. Desweiteren können sich Oxidschichten auf der Oberfläche der Beschichtung bilden. Es wird angenommen, dass solche Änderungen in der Nanostruktur zu einer Verschlechterung der makroskopischen Eigenschaften und letztendlich zum Versagen des Beschichtungssystems führen. Jedoch existieren bis heute keine exakten Daten zu Konzentrationsänderungen auf Nanometer-Skala, die in Metallnitrid-Übergittern bei Hochtemperatur-Einsatz auftreten. Folglich ist der Zusammenhang zwischen Übergitter-Struktur und makroskopischen Eigenschaften noch nicht gut verstanden. Das Ziel dieses Projektes ist es, die thermische Stabilität eines Hochleistungs-Beschichtungssystems (AlN/CrN) mit Hilfe der Atomsondentomographie (APT), Transmissionselektronenmikroskopie (TEM) und Röntgendiffraktometrie (XRD) systematisch zu untersuchen.