SBIR Phase I: Dual-Wavelength Diffractive Optics for Absorbance-Modulation Optical Lithography
SBIR 第一阶段:用于吸收调制光学光刻的双波长衍射光学器件
基本信息
- 批准号:0740100
- 负责人:
- 金额:$ 10万
- 依托单位:
- 依托单位国家:美国
- 项目类别:Standard Grant
- 财政年份:2008
- 资助国家:美国
- 起止时间:2008-01-01 至 2008-06-30
- 项目状态:已结题
- 来源:
- 关键词:
项目摘要
This Small Business Innovation Research Phase I project is to design dual wavelength diffractive optics for maskless absorbance modulation optical lithography. Absorbance-modulation optical lithography (AMOL) can achieve nanoscale resolution, while getting rid of the expensive photomask.Successful development of a maskless absorbance modulation optical lithograpy system will provide nanoscale resolution at lower costs than scanning electron beam lithography. This technology provides a combination of resolution and writing speed that is currently unavailable, and hence, will create a paradigm shift in the field of nanomanufacturing.
本小企业创新研究第一阶段计画为设计双波长绕射光学元件,以应用于无罩式吸收调变光学微影技术。 吸收调制光刻(阿莫尔)可以在不使用昂贵的光掩模的情况下获得纳米级的分辨率,无掩模吸收调制光刻系统的成功研制将以比扫描电子束光刻更低的成本获得纳米级的分辨率。 这项技术提供了目前不可用的分辨率和写入速度的组合,因此将在纳米制造领域创造一个范式转变。
项目成果
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