Wechselwirkung langsamer hochgeladener Ionen mit der Oberfläche von Ionenkristallen und Isolatoren

在德国的实验中，我们发现了一种新的方法，那就是从初始的能量中提取能量，然后再从最基本的角度出发。在可能的能源和技术的基础上，我们将继续进行光刻技术的研究。DAMIT Lassen sich Struktureänderungen and der Oberfläche erzeugen ohne dabe Strahlenschäden im Inneren des Festkörpers hervorzurufen.Für den Prozess der Nanostrukturierung dh ch hocheladene Ionen konnten in Vorarbeit der Anstmalig Modelle erarbeitet den，in denen am konkreten beispiel der OberfläChen CaF2 and KBR lokale Phasenübergänge Sowie Defekterzeugung ALS Ursachen der Strukturerzeugung Identity Wurden.与之相适应的是Ionenkristalberflächen De Hauptziele des vauliegenden Forschungsprojektes dar。在系统论中，Rasterkraftmikroskopie Sollen dazu和Energien Energien auf den Prozess der Strukturerzeugung Herossterellt被解释为Einflüsse von Kinnetischer和Projektilenergie Sowie von Synergieffekten Aus beiden Energien auf den Prozess der Strukturerzeugung herossterellt.从细节上看，这是一种不同的变化，但不同的是，它们不同。更好的角度，更多的是从总体参数的变化中来看，这是一种新的机械师的设计和制造。De Essentiellen Frasterellung nach der Inneren StrukTurn der erzeugten Nanostrukturen，D.H.从化学上来说，所有的东西都是这样的，因为它们都是从手套上传下来的。在此基础上，进行了系统分析和建模的实验，并在此基础上进行了系统的系统分析和建模。

Experimente in jüngster Vergangenheit haben gezeigt, dass die Deposition der potentiellen Energie hochgeladener Ionen an der Oberfläche von Ionenkristallen die Erzeugung nm-großer Strukturen initiieren kann. Da die Ursache der Strukturerzeugung in der potentiellen Energie der Ionen liegt, kann im Gegensatz zu herkömmlichen Lithographieverfahren mit sehr langsamen Projektilen gearbeitet werden. Damit lassen sich Strukturänderungen an der Oberfläche erzeugen ohne dabei Strahlenschäden im Inneren des Festkörpers hervorzurufen. Für den Prozess der Nanostrukturierung durch hochgeladene Ionen konnten in Vorarbeit der Antragsteller erstmalig Modelle erarbeitet werden, in denen am konkreten Beispiel der Oberflächen CaF2 und KBr lokale Phasenübergänge sowie Defekterzeugung als Ursachen der Strukturerzeugung identifiziert wurden. Die Adaption dieser Modelle auf den allgemeinen Fall der Ionenkristalloberflächen stellt eines der Hauptziele des vorliegenden Forschungsprojektes dar. In systematischen Untersuchungen mittels Rasterkraftmikroskopie sollen dazu die expliziten Einflüsse von kinetischer und potentieller Projektilenergie sowie von Synergieeffekten aus beiden Energien auf den Prozess der Strukturerzeugung herausgestellt werden. Die gezielte Variation von Ionenauftreffwinkel und Oberflächentemperatur soll dabei ein möglichst detailliertes Bild über die Quantität dieser Abhängigkeiten auf unterschiedlichen Ionenkristalloberflächen liefern. Weiter wird angestrebt, durch Variationen der genannten Parameter Aufschluss über den Zusammenhang zwischen den Mechanismen der Defekterzeugung und der Phononenanregung bei der Erzeugung individueller Nanostrukturen zu erlangen. Der essentiellen Fragestellung nach der inneren Struktur der erzeugten Nanostrukturen, d.h. nach der chemischen Zusammensetzung sowie der kristallographischen Ordnung, soll im vorliegenden Projekt erstmalig in Untersuchungen mittels Transmissionselektronenmikroskopie nachgegangen werden. Die bestehende internationale Zusammenarbeit bei der Projektierung der Experimente sowie bei der systematischen Analyse und Modellierung der Messergebnisse mit der Technischen Universität Wien, soll im Rahmen dieses Projektes fortgesetzt und weiter vertieft werden.