Keramische SiCN-basierte Hartstoffschichten für thermisch hoch beanspruchte Substratwerkstoffe

用于承受高热应力的基材材料的陶瓷 SiCN 基硬质材料层

基本信息

项目摘要

Die stetig steigenden Beanspruchungen an Bauteile gehen in der Regel mit einer Erhöhung der mechanischen und thermischen Beanspruchung der verwendeten Materialien einher, die einen zusätzlichen Schutz der Oberfläche zwingend erfordern. Daraus ergibt sich die Forderung nach der Entwicklung von Schichtmaterialien, die auch bei extremen thermischen Beanspruchungen den Grundwerkstoff zuverlässig schützen und damit die Entwicklung noch leistungsfähigerer Bauteile bzw. Prozesse ermöglichen. Materialien aus dem System SiCN zeigen vielversprechende Eigenschaften wie beispielswiese eine ausgezeichnete Beständigkeit gegen Oxidation, chemische Zersetzung und Strukturänderungen bis zu Temperaturen weit über 1300°C. Jedoch sind die Eigenschaften der SiCN-Schichten sehr stark vom Herstellungsverfahren, der Zusammensetzung und der damit verbundenen Struktur des amorphen Netzwerkes abhängig. Die in der Literatur verfügbaren Daten erlauben bisher keine belastbare Vergleichbarkeit der mit unterschiedlichen Verfahren synthetisierten SiCN-Schichtmaterialien untereinander. Ähnliches gilt für die Möglichkeiten zur Einflussnahme auf die Schichteigenschaften in Abhängigkeit von Syntheseverfahren und Syntheseparametern. Forschungsbedarf besteht darüber hinaus bei der mechanismenbasierten Untersuchung des Hochtemperaturverhaltens. In diesem Vorhaben werden daher SiCN-basierte Schichtmaterialien mit den Verfahren PVD-Sputtern, PA-CVD (mittels Single-Source-Precursoren) und Sol-Gel-synthetisiert. Die Schichten bzw. die Schicht-Verbundsysteme werden einer grundlegenden mechanismenbasierten Betrachtung hinsichtlich ihrer Eigenschaftsprofile unterzogen. Einen besonderen Schwerpunkt bilden Untersuchungen zum Hochtemperaturverhalten der SiCN-Materialien. Die geplante Vorgehensweise erlaubt die Beschreibung der Zusammenhänge zwischen der Synthesemethode und den chemischen, strukturellen und mechanisch-technologischen Eigenschaften sowie dem Hochtemperaturverhalten der reinen Schichtmaterialien und den Schicht-Verbundsystemen.
Die stetig steigenden beanspruchengen a der regel einer einererhöhungerhöhungnegrenischen和thermchen beanspruchung der verwendeten材料的bauteile gehen einen einenzusätzlichenschutz der schutz der schutz deroberflächezwingend zwingend zwingendErfordern。 Daraus Ergibt Sich Die Forderung nach der Entwicklung von schichtmaterialien,Die Auch Bei Extremen Thermenththermchen Beanspruchungen den GrundwerkstoffZuverlässigSchützoutsigSchützoussigSchützenund Damit and Damit and Damit and Dim and Die the Sicn系统的最佳氧化是最好的氧化方法,并且是氧化的最佳状态。 strukturänderungenbis zu Zu weveraturen weitüber1300°C。 Jedoch Sind Die eigenschaften der Sicn-Schichten Sehr Stark vom herstellungsverfahren,sicn-schichtmaterialien untereinander。 SICN-SCHICHTMATERIALIEN UNTERINANDER导致在SICN-SCHICHTMATERIALIEN UNTERINANDER中创建了新的合成器。合成器。 Forschungsbedarf赋予了Hochtemperature世界上最好的最好的。在本文中,我们将能够帮助您了解SICN-BASIERTE SCHICHTMATERIALEIN PVD-SPUTERN,PA-CVD(MITTELS SINE-SORCE-PRECURSOREN)SOL-GEL-GEL-SYNTHETISIERT。 Die Schichten Bzw. Die Schicht-verbundsysteme Werden Einer Grundlegenden机械机​​构nbasierten betrachtung hinsichtlich ihrer eigenschaftsprofile unterzogen。 Einen besonderen schwerpunkt bild untersuchungen zum hochtemperverhalten der sicn-Materialien。 Die Geplante vorgehensweise erlaubt die beschreibung derzusammenhängezwischen der synthesemethode und den chemischen,strukturellen ungeniSch-technologychnologychnologychnologychen eigenschen eigenschaftsprofile interzogen unterzogen。 Einen besonderen schwerpunkt bild untersuchungen zum hochtemperverhalten der sicn-Materialien。 Die geplante Vorgehensweise erlaubt die Beschreibung der Zusammenhänge zwischen der Synthesemethode und den Chemischen, strukturellen und mechanisch-technologychen Eigenschaften sowie dem Hochtemperaturverhalten der Reinen Schichtmaterialien und den Schicht-Verbundsystemen.

项目成果

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