Keramische SiCN-basierte Hartstoffschichten für thermisch hoch beanspruchte Substratwerkstoffe

用于承受高热应力的基材材料的陶瓷 SiCN 基硬质材料层

• 批准号: 195002643
• 负责人: Dr.-Ing. Holger Hoche
• 金额: --
• 依托单位: Fachgebiet und Institut für Werkstoffkunde
• 依托单位国家: 德国
• 项目类别: Research Grants
• 财政年份: 2011
• 资助国家: 德国
• 起止时间: 2010-12-31 至 2014-12-31
• 项目状态: 已结题
• 来源: https://gepris.dfg.de/gepris/projekt/195002643?language=en
• 关键词: Keramische; SiCN; basierte; Hartstoffschichten; thermisch

Die stetig steigenden Beanspruchungen an Bauteile gehen in der Regel mit einer Erhöhung der mechanischen und thermischen Beanspruchung der verwendeten Materialien einher, die einen zusätzlichen Schutz der Oberfläche zwingend erfordern. Daraus ergibt sich die Forderung nach der Entwicklung von Schichtmaterialien, die auch bei extremen thermischen Beanspruchungen den Grundwerkstoff zuverlässig schützen und damit die Entwicklung noch leistungsfähigerer Bauteile bzw. Prozesse ermöglichen. Materialien aus dem System SiCN zeigen vielversprechende Eigenschaften wie beispielswiese eine ausgezeichnete Beständigkeit gegen Oxidation, chemische Zersetzung und Strukturänderungen bis zu Temperaturen weit über 1300°C. Jedoch sind die Eigenschaften der SiCN-Schichten sehr stark vom Herstellungsverfahren, der Zusammensetzung und der damit verbundenen Struktur des amorphen Netzwerkes abhängig. Die in der Literatur verfügbaren Daten erlauben bisher keine belastbare Vergleichbarkeit der mit unterschiedlichen Verfahren synthetisierten SiCN-Schichtmaterialien untereinander. Ähnliches gilt für die Möglichkeiten zur Einflussnahme auf die Schichteigenschaften in Abhängigkeit von Syntheseverfahren und Syntheseparametern. Forschungsbedarf besteht darüber hinaus bei der mechanismenbasierten Untersuchung des Hochtemperaturverhaltens. In diesem Vorhaben werden daher SiCN-basierte Schichtmaterialien mit den Verfahren PVD-Sputtern, PA-CVD (mittels Single-Source-Precursoren) und Sol-Gel-synthetisiert. Die Schichten bzw. die Schicht-Verbundsysteme werden einer grundlegenden mechanismenbasierten Betrachtung hinsichtlich ihrer Eigenschaftsprofile unterzogen. Einen besonderen Schwerpunkt bilden Untersuchungen zum Hochtemperaturverhalten der SiCN-Materialien. Die geplante Vorgehensweise erlaubt die Beschreibung der Zusammenhänge zwischen der Synthesemethode und den chemischen, strukturellen und mechanisch-technologischen Eigenschaften sowie dem Hochtemperaturverhalten der reinen Schichtmaterialien und den Schicht-Verbundsystemen.

Die stetig steigenden Beanspruchungen and Bauteile gehen in der reggel mit einer Erhöhung der mechanism and thermischen Beanspruchung der verwendeten materialinher, Die einen zusätzlichen Schutz der Oberfläche zwingenderfordern。1 .在材料材料方面，材料材料方面，材料材料方面，材料材料方面，材料材料方面，材料材料方面，材料材料方面，材料材料方面，材料材料方面，材料材料方面。Prozesse ermoglichen。材料系统SiCN zeigen vielversprechende Eigenschaften wie beispielswiese eine ausgezeichnete Beständigkeit gegen氧化，化学Zersetzung和Strukturänderungen bis zutemperature weber 1300°C。[1] [1] [1] [1] [1] [1] [1] [1] [1] [1] [1] [1] [1] [1] [1]Die in der literature（在文学上）（在文学上）（在文学上）（在文学上）Ähnliches gilt f<e:1> r die Möglichkeiten zur Einflussnahme auf die Schichteigenschaften in Abhängigkeit von Syntheseverfahren and Syntheseparametern。在高温环境下，对高温环境下的高温环境进行了研究。在此基础上，Vorhaben werden研究了sicn - basieret schichtmaterials， Verfahren pvd溅射，PA-CVD （mittels单源前驱体）和溶胶-凝胶合成。Die Schichten bzw。(2) schicht - verbundsystem （schicht - verbundsystem, schicht - verbundsystem）研究了sicn -材料在高温下的应用。Die geplante Vorgehensweise erlaute Die Beschreibung der Zusammenhänge zwischen der合成方法和化学，结构和机械技术特征schaften sowie hochtemperature， verhalten der reinen schichtmaterials和schicht - verbundsystem。