Erschließung von Si/(X)/C/N-Beschichtungen zum Schutz vor tribologischer, thermischer und korrosiver (Komplex)-Beanspruchung

开发 Si/(X)/C/N 涂层以防止摩擦、热和腐蚀（复杂）应力

• 批准号: 14085811
• 负责人: Dr.-Ing. Holger Hoche
• 金额: --
• 依托单位: Fachgebiet und Institut für Werkstoffkunde
• 依托单位国家: 德国
• 项目类别: Research Grants
• 财政年份: 2005
• 资助国家: 德国
• 起止时间: 2004-12-31 至 2006-12-31
• 项目状态: 已结题
• 来源: https://gepris.dfg.de/gepris/projekt/14085811?language=en
• 关键词: Erschlie; ung; von; Si; Beschichtungen

Nicht-oxidische Materialien bestehend aus den leichten Hauptgruppenelementen B,C,N und/oder Si werden in den verschiedensten Bereichen als Funktions- und Strukturwerkstoffe eingesetzt. Der vermutlich bekannteste Vertreter dieser Stoffklasse ist Diamant, das mit Abstand härteste Material mit höchsten Werten für den Brechungsindex, die thermische Leitfähigkeit oder den E-Modul, um nur einige herausragende Eigenschaften zu nennen. Diamant lässt sich seit einigen Jahren auch kontrolliert als Schicht auf unterschiedlichen Substraten abscheiden, jedoch kann er aufgrund seiner geringen Oxidationsbeständigkeit und wegen der Carbidbildung beim Bearbeiten vieler metallischer Werkstoffe vielfach nicht zum Einsatz kommen. Andererseits lässt sich das oxidationsbeständigere kubische Bornitrid bislang aufgrund der hohen Eigenspannungen noch nicht als brauchbare Schicht abscheiden.Weitere binäre Verbindungen des Systems Si/B/C/N wie Siliziumnitrid (Si3N4), Siliziumcarbid (SiC) und Borcarbid (B4C) werden kommerziell hergestellt und z.T. auch in Form von PVD- oder CVD-Schichten erforscht bzw. eingesetzt.Aus dem ternären System Si/C/N bzw. aus dem quarternären System (SI/B/C/N werden Stoffe mit extremen Eigenschaften hinsichtlich Härte, Reibung, Verschleiß, temperatur- und Korrosionsbeständigkeit erwartet. Bisher liegen jedoch zu wenige Daten, insbesondere über die tribologischen Eigenschaften, vor.Im Mittelpunkt des Vorhabens steht die Erschließung von PCD-Schichten aus dem System Si/(X)(C/N wobei als X neben dem bereits genannten Element Bor noch Aluminium, Zirkon und weitere interessante Schicht-Legierungselemente erprobt werden. Die tribologischen Eigenschaften werden in einem breiten Temperaturbereich von Raumtemperatur bis 900°C eingehend geprüft, um mögliche Anwendungen für die Schichtsysteme abzugrenzen. Es wird eine signifikante Verbesserung der Hochtemperatureigenschaften (Verschleiß, Oxidation, Korrosion, thermische Degradation) gegenüber konventionellen Hartstoffschichten (z.B. TiAlN) erwartet.

nicht-氧化材料bestehend aus den leichten hauptgruppenelementen b，c，n und/oder si werden in den verschiedensten bereichen als funktions- und strukturwerkstoffe eingesetzt。 Der vermutlich bekannteste Vertreter dieser Stoffklasse ist Diamant, das mit Abstand härteste Material mit höchsten Werten für den Brechungsindex, die thermische Leitfähigkeit oder den E-Modul, um nur einige herausragende It is a matter of fact that the world is not just a matter of fact.这是一个很好的机会，可以看到Schicht Auf Unterschiedlichen的世界，这是一种基质，是一种基质的Abscheiden，这是一个肯定氧化世界的绝佳机会，但这是极端方式的绝佳机会。我们是一个经历了与Brauchbare SchichtAbscheiden.WeitereBinäreverbindungen Systems Si/B/C/N Wie Siliziumnitrid（Si3n4），SiliziumCarbid（SIC）WERCARBID（B4C）WERDEN KOMMERELELLELLELT HERGERTTELT， von pvd-oder cvd-schichten erforscht bzw。 Werden系统SI/C/N BZW。 Werden System (SI/B/C/N wyden The company is committed to providing a wide range of services, including the latest in the future. It is a time when it comes to date, including the latest in the future. It is a great opportunity to die in the PCD-Schichten aus dem System Si/(X)(C/N Wobei als X neben dem bereits genannten Element Bor noch Aluminium, Zirkon und weitere Interseste-Schicht-legierungselemte Erprobt Werden。省serung der hochtemplyigenschaften（Verschleiß，氧化，korrosion，Thermische降解）GegenüberKonventionellenhartstoffschichten（Z.B. tialn）Erwartet。