Noninvasive and simultaneous determination of thickness and sound velocity of layered structures with ultrasound

用超声波无创同时测定层状结构的厚度和声速

• 批准号: 207003883
• 负责人: Professorin Dr. Elfgard Kühnicke
• 金额: --
• 依托单位: Juniorprofessur für Mess-, Sensor- und Eingebettete Systeme (MSE Lab)
• 依托单位国家: 德国
• 项目类别: Research Grants
• 财政年份: 2011
• 资助国家: 德国
• 起止时间: 2010-12-31 至 2022-12-31
• 项目状态: 已结题
• 来源: https://gepris.dfg.de/gepris/projekt/207003883?language=en
• 关键词: Noninvasive; simultaneous; determination; thickness; sound

Sowohl für die Prozessüberwachung als auch für die Zerstörungsfreie Prüfung ist ein nicht-invasives, zerstörungsfreies Verfahren zur gleichzeitigen Bestimmung von Schichtdicken und Schallgeschwindigkeiten geschichteter Strukturen von großem Interesse. Bei geschichteten Festkörpern in der Elektronikindustrie könnten z.B. Materialparameter und Aufbau von unbekannten Schichtsystemen zerstörungsfrei bestimmt werden. Damit wird die Leistungsfähigkeit einer Qualitätskontrolle massiv erhöht, da eine gleichzeitige Überprüfung von Materialgüte und Probengeometrie möglich wird. Hierfür wurden im Vorgängerprojekt zwei Ultraschall-Verfahren entwickelt. Sie verwenden ein einzelnes Array und setzen keine Reflektoren oder weitere Schallköpfe in bekannten Abständen voraus und funktionieren auch bei einseitig zugänglichen Strukturen. In der ersten Schicht wird eine Genauigkeit von 99% und in der zweiten von 95% erreicht. Damit wurde das Ziel: , Nachweis der Funktionstüchtigkeit, weit übertroffen. Außerdem ergab sich eine Vielzahl von Ideen zur Weiterentwicklung. Im beantragten Projekt soll ein neues Verfahren entwickelt werden, das auf den bereits entwickelten aufsetzt. Da dieses alle im Signal enthaltenen Informationen nutzt, sollte sich die Genauigkeit auch für mehr als drei Schichten signifikant erhöhen. Das Ziel des Projektes ist die Bereitstellung eines robusten, praxistauglichen Messverfahrens zur gleichzeitigen Schichtdicken und Schallgeschwindigkeitsbestimmung.

Sowohl für die Prozessüberwachung als auch für die Zerstörungsfreie Prüfung ist ein nicht-invasives，zerstörungsfreies Verfahren zur gleichzeitigen Bestimmung von Schichtdicken und Sügeschwindigkeiten geschichteter Strukturen von großem Interesse. Bei geschichteten Festkörpern in der Elektronikindustrie könnten z.B.材料参数和结构由不合适的Schichtsystemen zerstörungsfrei bestimmt韦尔登。Damit wird die Leistungsfähigkeit einer Qualitätskontrolle Ehöht，da eine gleichzeitige Überprüfung von Materialgüte und Probengeometrie möglich wird. Hierfür wurden im Vorgängerprojekt zwei Ultrason-Verfahren entwickelt. Sie verwenden ein einzelnes Array and setzen keine Reflektoren or der weitere Sanköpfe in bekannten Abständen voraus and funktionieren auch bei einseitig zugänglichen Strukturen.在第一个Schicht中，有99%的正确率，而在第二个Schicht中，有95%的正确率。Damit wurde das Ziel：，Nachweis der Funktionstüchtigkeit，weit übertroffen.因此，我们需要一个思想上的自由。我的项目只有一个新的项目开始韦尔登，这个项目也开始了。这些都是信号和信息的本质，因此也需要有梅尔三个重要的信号。该项目的Ziel是一个强大的，实践的信息，以gleichzeitigen Schichtdicken和sougeschwindigkeitsbestimmung。