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Bestimmung von Größe und Form von Einschlüssen kleiner als die Schallbündelbreite

小于声束宽度的夹杂物尺寸和形状的测定

基本信息

批准号：
136109294
负责人：
Professorin Dr. Elfgard Kühnicke
金额：
--
依托单位：
Institut für Festkörperelektronik (IFE)
依托单位国家：
德国
项目类别：
Research Grants
财政年份：
2009
资助国家：
德国
起止时间：
2008-12-31 至 2012-12-31
项目状态：
已结题

来源：
https://gepris.dfg.de/gepris/projekt/136109294?language=en
关键词：
Bestimmung von Gr und Form

项目摘要

Die Miniaturisierung von elektronischen Bauelementen macht eine zerstörungsfreie Prüfung von Strukturen mit Größen von deutlich kleiner als 100 μm erforderlich. Es sollen Delaminationen und Fehlstellen möglichst bis in den μm-Bereich gefunden und größenmäßig charakterisiert werden. Dazu bieten sich Ultraschallabbildungsverfahren an, die Röntgenverfahren aufgrund des starken Kontrastes vielfach überlegen sind. Im beantragten Projekt soll ein Verfahren entwickelt werden, mit dem es möglich wird, Größe und Form von Einschlüssen, die kleiner als die Schallbündelbreite sind, zu bestimmen. Damit lässt sich eine wesentliche Verbesserung (Qualitätserhöhung) des Ultraschall-Schnittbildes erzielen. Eine solche Verbesserung ist notwendig, da bei konventioneller Auswertung solche Einschlüsse nicht kleiner als die Schallbündelbreite dargestellt werden. Die grundlegende Idee für das neue Verfahren beruht auf der Informationsgewinnung aus dem Aussehen des rückgestreuten Schallfeldes. Dazu werden die Richtcharakteristik sowie die Form des empfangenen Signals als Funktion der Schallkopfposition ausgewertet. Die Variation des Sende-Schallfeldes z.B. durch Änderung der Senderposition in vertikaler und horizontaler Richtung und die Abtastung des reflektierten Schallfeldes, liefern Informationen über den Reflektor. Solche Ansätze gibt es in der Literatur bisher nicht, da sie die genaue Kenntnis des reflektierten Schallfeldes, das von den Wandlerparametern, der konkreten Messsituation (Abstand des Reflektors, Material und Strukturierung des Messobjektes) und der Größe und Form der Einschlüsse abhängt, voraussetzen. Simulationsrechnungen liefern das Schallfeld auf dem Empfänger und ermöglichen somit eine optimale Strukturierung des Empfängers zur Abtastung des Schallfeldes und erlauben damit gezielte experimentelle Untersuchungen. Im engen Zusammenspiel mit Experimenten sind Kriterien zur Bestimmung der Größe und Form von kleinen Einschlüssen und Hohlräumen zu untersuchen.

电子元件的微型化是通过 100 μm 的德国小部件来实现的。 Es sollen Delaminationen and Fehlstellen möglichst bis in den μm-Bereich gefunden und größenmäßig charakterisiert werden. Dazu bieten sich Ultraschallabbildungsverfahren 和，die Röntgenverfahren aufgrund des starken Kontrastes vielfach überlegen sind。我的项目是在 Verfahren entwickelt werden 中进行的，它具有多种形状、形状和形式，并且是最优秀的。 Damit lässt sich eine wesentliche Verbesserung (Qualitätserhöhung) des Ultraschall-Schnittbildes erzielen。 Eine solche Verbesserung ist notwendig, da bei konventioneller Auswertung solche Einschlüsse nicht kleiner als die Schallbündelbreite dargestellt werden.沙尔费尔德斯的新信息的基本理念是来自于 Aussehen des rückgestreuten 的信息。 Dazu werden die Richtcharakteristik sowie form des empfangenen Signals Funktion der Schallkopfposition ausgewertet。 Sende-Schallfeldes z.B. 变奏曲在垂直和水平方向上的发送者位置和反射器的反射控制中，信息是在反射器上的。 Solche Ansätze gibt es in der Literatur bisher nicht, da sie die genaue Kenntnis des reflektierten Schallfeldes, das von den Wandlerparametern, der konkreten Messsituation (Abstand des Reflektors, Material und Strukturierung des Messobjektes) und der Größe und Form der单一路径 abhängt，voraussetzen。对 Schallfeld 进行模拟研究，以优化其 Empfängers zur Abtastung des Schallfeldes 和 erlauben damit gezielteexperimentelle Untersuchungen。我将在实验中进行实验，以提高最佳效果和形成小Einschlüssen 和Hohlräumen zu untersuchen。