Entwicklung und Untersuchung neuer Mikrostrukturen zur Messung statischer und dynamischer Kräfte

用于测量静态和动态力的新型微观结构的开发和研究

• 批准号: 20988588
• 负责人: Professor Dr.-Ing. Frank H.W. Löffler
• 金额: --
• 依托单位: Fachbereich 5.5 - Wissenschaftlicher Gerätebau
• 依托单位国家: 德国
• 项目类别: Research Grants
• 财政年份: 2006
• 资助国家: 德国
• 起止时间: 2005-12-31 至 2009-12-31
• 项目状态: 已结题
• 来源: https://gepris.dfg.de/gepris/projekt/20988588?language=en
• 关键词: Entwicklung; und; Untersuchung; neuer; Mikrostrukturen

Ein neuartiger Kraftaufnehmer soll entwickelt und untersucht werden, bei dem Dünnfilm- Dehnungsmessstreifen (Dünnfilm-DMS) als Kraftmesselemente direkt auf ausgewählte Verformungskörper aufgebracht werden. Damit können die bekannten Nachteile der klassischen, aufgeklebten Folien-DMS, wie Verfälschung der Messung von kleinen Kräften durch Kraftnebenschluss zwischen Verformungskörper und Klebeschicht mit Folien-DMS, begrenzte Temperaturfestigkeit der Polymerfolie sowie der unbekannte Einfluss der Klebeschicht bei dynamischen Kräften, vermieden werden, ohne auf die Vorteile der hochentwickelten elektrischen Messtechnik zur Auswertung einer Brückenschaltung verzichten zu müssen. Sowohl statische als auch dynamische Kräfte sollen mit dem neuartigen Kraftaufnehmer gemessen werden. Die Verwendung nur eines Sensorelementes für beide Messgrößen (statisch und dynamisch) bei gleichzeitiger Verbesserung der Messgenauigkeit stellt eine wesentliche Neuerung dar. Als weitere Innovation ist eine Miniaturisierung des Sensors auf einige Mikrometer Größe vorgesehen. Für die Strukturierung der mittels Kathodenzerstäubungsverfahren erzeugten Sensorschichten soll neben dem photolithographischen Verfahren auch ein UV-Laser mit Scannersystem eingesetzt werden. Basis für die Optimierung des Sensors (u. a. hinsichtlich Schicht, Struktur und Material) ist die metrologische Charakterisierung des neu entwickelten Kraftaufnehmers u. a. in den Kraft-Normalmesseinrichtungen der PTB.

在新的 Kraftaufnehmer 中，我们将在 Dünnfilm-Dehnungsmessstreifen (Dünnfilm-DMS) 中直接进行 Kraftmesselemente 操作，并在其上进行一些操作。重要的是要了解经典的 Nachteile der Klassischen、aufgeklebten Folien-DMS、wie Verfälschung der Messung von kleinen Kräften durch Kraftnebenschluss zwischen Verformungskörper 和 Klebeschicht mit Folien-DMS、begrenzte Temperaturfestigkeit der聚合酶链反应 动态Kräften中的Klebeschicht，vermieden werden，ohne auf die Vorteile der hochentwickelten elektrischen Messtechnik zur Auswertung einer Brückenschaltung verzichten zu müssen。 Sowohl statische als auch Dynamische Kräfte sollen dem dem neuartigen Kraftaufnehmer gemessen werden.传感器元件在 Messgrößen（静态和动态）中的应用是通过 Messgenauigkeit 的 gleichzeitiger Verbesserung der Messgenauigkeit 来实现的。此外，创新是微型微型传感器的微型化。传感器结构与光刻技术和扫描仪系统中的紫外激光技术无关。传感器优化的基础（u.a.hinsichtlich Schicht、Struktur und Material）是新的计量特性。一个。在 PTB 的 Kraft-Normalmesseinrichtungen 中。