Entwicklung und Untersuchung neuer Mikrostrukturen zur Messung statischer und dynamischer Kräfte

用于测量静态和动态力的新型微观结构的开发和研究

• 批准号: 20988588
• 负责人: Professor Dr.-Ing. Frank H.W. Löffler
• 金额: --
• 依托单位: Fachbereich 5.5 - Wissenschaftlicher Gerätebau
• 依托单位国家: 德国
• 项目类别: Research Grants
• 财政年份: 2006
• 资助国家: 德国
• 起止时间: 2005-12-31 至 2009-12-31
• 项目状态: 已结题
• 来源: https://gepris.dfg.de/gepris/projekt/20988588?language=en
• 关键词: Entwicklung; und; Untersuchung; neuer; Mikrostrukturen

Ein neuartiger Kraftaufnehmer soll entwickelt und untersucht werden, bei dem Dünnfilm- Dehnungsmessstreifen (Dünnfilm-DMS) als Kraftmesselemente direkt auf ausgewählte Verformungskörper aufgebracht werden. Damit können die bekannten Nachteile der klassischen, aufgeklebten Folien-DMS, wie Verfälschung der Messung von kleinen Kräften durch Kraftnebenschluss zwischen Verformungskörper und Klebeschicht mit Folien-DMS, begrenzte Temperaturfestigkeit der Polymerfolie sowie der unbekannte Einfluss der Klebeschicht bei dynamischen Kräften, vermieden werden, ohne auf die Vorteile der hochentwickelten elektrischen Messtechnik zur Auswertung einer Brückenschaltung verzichten zu müssen. Sowohl statische als auch dynamische Kräfte sollen mit dem neuartigen Kraftaufnehmer gemessen werden. Die Verwendung nur eines Sensorelementes für beide Messgrößen (statisch und dynamisch) bei gleichzeitiger Verbesserung der Messgenauigkeit stellt eine wesentliche Neuerung dar. Als weitere Innovation ist eine Miniaturisierung des Sensors auf einige Mikrometer Größe vorgesehen. Für die Strukturierung der mittels Kathodenzerstäubungsverfahren erzeugten Sensorschichten soll neben dem photolithographischen Verfahren auch ein UV-Laser mit Scannersystem eingesetzt werden. Basis für die Optimierung des Sensors (u. a. hinsichtlich Schicht, Struktur und Material) ist die metrologische Charakterisierung des neu entwickelten Kraftaufnehmers u. a. in den Kraft-Normalmesseinrichtungen der PTB.

该公司致力于提供最具创新性和实用性的方法，以创建一种新的和创新的方法（Dünnfilm-DMS），并致力于为世界提供一种新的创新方法。该公司致力于为Kraft Messenger的世界提供一种新的创新方法，并致力于为Kraft Messung（Dünnfilm-DMS）提供一种新的创新方法，并致力于为Kraft Messengers的世界提供一种新的创新方法。 Folien-DMS，Polymerfolie已成为Unrekanten的来源，以及Klebeschicht Bei Dynamicschen的北京以及Messtechnik Zur Zur Zur AuswertungEinerbrückenschaltungverzichaltung verzichtenZuMüssen。 Sowohl统计数据是Auchischen，Solren缓解dem neuartigen Kraftaufnehmer Gemessen Werden。 Die verwendung nur eines sensorlementesfürBeideMessgrößen（Statisch und Dynamisch） Als Weitere Innovation IST Miniaturisierung des Sensors auf einigemikrometergrößeVorgesehen。 fürdie strukturierung der bittelskathodenzerstäubungsverfahrenerzeugten sensorschichten soll soll neben dem dem光刻是保护环境的好方法。传感器（u。A。HinsichtlichSchicht，Struktur und材料）是保护环境和保护环境的好方法。