Entwicklung und Untersuchung eines MEMS-basierten Mikro-SPM-Kopfarrays mit austauschbaren Cantilevern

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Die raschen Fortschritte in der Mikro- und Nanotechnologie und bei metrologischen Rastersondenmikroskopen mit großem Messbereich verlangen einen neuartigen SPM-Kopf (scanning probe microscopy), der(1) die Vorteile eines Nanopositioniersystems mit großem Verschiebebereich in einem Großbereichs-SPM voll ausnutzt,(2) die Bilderzeugungsgeschwindigkeit eines Großbereich-SPM’s wirksam erhöht,(3) über einen ausreichenden vertikalen Verschiebebereich und hohe Auflösung verfügt.Deshalb wird als Reaktion auf die oben genannte Anforderung eine neuartige MEMS-basierte Mikro- SPM-Kopfmatrix vorgeschlagen, die(1) auf elektrostatischen lateralen Kammantriebsaktoren basiert,(2) traditionelle SPM-Spitzen mit der Fähigkeit eines in-time Spitzenaustausches benutzt und deshalb(3) solche Merkmale, wie großer Verschiebebereich bei hoher Auflösung, kleinen Abmessungen, niedrigem Leistungsverbrauch und niedrige Kosten aufweist.Diese vorgeschlagene Forschung ist eine typische interdisziplinäre Aufgabe, in der die MEMS-Technik und die Mikro-/Nanometrologie eng miteinander verknüpft sind. Hiermit wird von den Antragstellern ein internationales Verbundprojekt mit dem Ziel organisiert, die speziellen Kompetenzen und Erfahrungen jeder Seite zu nutzen und die Realisierung des Ziels dieses Vorschlags, d. h. die Entwicklung, Herstellung und Anwendung der MEMS-basierten Mikro-SPM-Köpfe, zu gewährleisten.