Reaktives Ionenätzgerät mit induktiv gekoppelter Plasmaquelle

“Die ICP-RIE Anlage wird für das stark anisotrope Ätzen von monokristallinen Siliziumwafern zur Herstellung von Mikro-und Nanostrukturen benötigt. Dabei sind zwei verdedene Prozesse erforderlich：Der Bosch-Prozess dient dem stark anisotropen Ätzen von sehr tiefen Strukturen in Silizium mit nahezu senkrechten Seitenwänden（oder wie im Fall von scharfen Spitzen für die AFM-Sensorik mit Grenzen einstellbarem Böschungswinkel）. Dies ist ein Standardprozess in der Mikrosystemtechnik，die der Antragsteller Schemäßig für die Herstellung von Cantium-Sensoren，Mikroresonatoren und anderen Mikrostrukturen einsetzen möchte.在这里，我们可以看到一个撕裂的结构，在这个秋天里，我们没有任何收获。Allerdings möchte der Antragsteller und der weitere Nutzer z.B. Strukturen（Wellenleiter、Cavity等）对于光学微系统技术来说，只有一个很小的Oberflächenrauße aufweisen dürfen，这个人必须把它放在一起。这种结构使人感觉不舒服。Hier setzt das Kryogene Trockenätzen an：der Ótzprozess wird in einem kontinuierlichen Prozess durchgeführt：die Seitenwände bleiben glatt.污染物的污染是严重的，韦尔登。“

„Die ICP-RIE Anlage wird für das stark anisotrope Ätzen von monokristallinen Siliziumwafern zur Herstellung von Mikro-und Nanostrukturen benötigt. Dabei sind zwei verschiedene Prozesse erforderlich: Der Bosch-Prozess dient dem stark anisotropen Ätzen von sehr tiefen Strukturen in Silizium mit nahezu senkrechten Seitenwänden (oder wie im Fall von scharfen Spitzen für die AFM-Sensorik mit in Grenzen einstellbarem Böschungswinkel). Dies ist ein Standardprozess in der Mikrosystemtechnik, die der Antragsteller routinemäßig für die Herstellung von Cantilever-Sensoren, Mikroresonatoren und anderen Mikrostrukturen einsetzen möchte. Hier weist allerdings die Seitenwand eine rippenförmige Struktur auf, die in vielen Fällen keine Auswirkung besitzt. Allerdings möchte der Antragsteller und der weitere Nutzer z.B. Strukturen (Wellenleiter, Cavity etc.) für die optische Mikrosystemtechnik herstellen können, die eine nur sehr geringe Oberflächenrauheit aufweisen dürfen, da man die Streuung ausschalten muss. Diese Strukturen sind üblicher Weise weniger tief zu ätzen. Hier setzt das Kryogene Trockenätzen an: der Ätzprozess wird in einem kontinuierlichen Prozess durchgeführt: die Seitenwände bleiben glatt. Voraussetzung ist jedoch, dass Kontaminationen vermieden werden.“