Reaktives Ionenätzgerät mit induktiv gekoppelter Plasmaquelle

具有感应耦合等离子体源的反应离子蚀刻装置

• 批准号: 232442301
• 金额: --
• 依托单位: Rheinland-Pfälzische Technische Universität Kaiserslautern-Landau
• 依托单位国家: 德国
• 项目类别: Major Research Instrumentation
• 财政年份: 2013
• 资助国家: 德国
• 起止时间: 2012-12-31 至 无数据
• 项目状态: 未结题
• 来源: https://gepris.dfg.de/gepris/projekt/232442301?language=en
• 关键词: Reaktives; Ionen; tzger; mit; induktiv

„Die ICP-RIE Anlage wird für das stark anisotrope Ätzen von monokristallinen Siliziumwafern zur Herstellung von Mikro-und Nanostrukturen benötigt. Dabei sind zwei verschiedene Prozesse erforderlich: Der Bosch-Prozess dient dem stark anisotropen Ätzen von sehr tiefen Strukturen in Silizium mit nahezu senkrechten Seitenwänden (oder wie im Fall von scharfen Spitzen für die AFM-Sensorik mit in Grenzen einstellbarem Böschungswinkel). Dies ist ein Standardprozess in der Mikrosystemtechnik, die der Antragsteller routinemäßig für die Herstellung von Cantilever-Sensoren, Mikroresonatoren und anderen Mikrostrukturen einsetzen möchte. Hier weist allerdings die Seitenwand eine rippenförmige Struktur auf, die in vielen Fällen keine Auswirkung besitzt. Allerdings möchte der Antragsteller und der weitere Nutzer z.B. Strukturen (Wellenleiter, Cavity etc.) für die optische Mikrosystemtechnik herstellen können, die eine nur sehr geringe Oberflächenrauheit aufweisen dürfen, da man die Streuung ausschalten muss. Diese Strukturen sind üblicher Weise weniger tief zu ätzen. Hier setzt das Kryogene Trockenätzen an: der Ätzprozess wird in einem kontinuierlichen Prozess durchgeführt: die Seitenwände bleiben glatt. Voraussetzung ist jedoch, dass Kontaminationen vermieden werden.“

《Die ICp-rie Anlage wird für das stk sten von monokristallinen Siliziumwafern zur Herstellung von Mikro-und Nanostrukturen Benötigt.从今天起，我们将继续为您提供一个全新的服务平台：Der Bosch-Prozess DEM Stark Antotroren in Silizium MIT Nahezzu Senkrechten Seitenwänden(Oder Wie Wie Fall von scharfen Spitzen für die AFM-Sensorik MIT in Grieinstellbarm Böschungswinkel)。这是一种新的标准加工技术，它是一种常规的安装程序，用于安装悬臂--Sensoren，MikroResonatoren and Anderen Mikrostrukturen einsetzen Mchte。在这里，我们的过敏症会消失，也会消失在维伦·Fällen keine Auswirkung Bitzt。Antrasteller and der Weitere Nutzer Z.B.Strukturen(Wellenleiter，Cavity等)如果你不是所有人都知道的，那么你就是我最好的朋友。作者声明：Diese Strukturen sindüBlicher Weise Veniger Tef zuätzen.在此，您可以从以下几个方面了解到这一点：这是一项重要的工作，因为它的进度很低。我是耶多人，但我不知道。“

项目成果

Depth of focus analysis of optical systems using tunable aperture stops with a moderate level of absorption.

使用具有中等吸收水平的可调孔径光阑对光学系统进行焦深分析

• DOI: 10.1364/ao.53.006508
• 发表时间: 2014
• 期刊: Applied optics
• 影响因子: 1.9
• 作者: D. Pätz;T. Deutschmann;E. Oesterschulze;St. Sinzinger
• 通讯作者: St. Sinzinger

Virtual mass effect in dynamic micromechanical mass sensing in liquids

液体动态微机械质量传感中的虚拟质量效应

• DOI: 10.1063/1.4954027
• 发表时间: 2016
• 期刊: Applied Physics Letters
• 影响因子: 4
• 作者: P. Peiker;E. Oesterschulze
• 通讯作者: E. Oesterschulze

Microsphere-based cantilevers for polarization-resolved and femtosecond SNOM

用于偏振分辨和飞秒 SNOM 的微球悬臂梁

• DOI: 10.1007/s00340-016-6359-2
• 发表时间: 2015
• 期刊: Applied Physics B
• 作者: C. A. González Mora · M. Hartelt · D. Bayer · M. Aeschlimann · E. A. Ilin ·E. Oesterschulze