Hochauflösendes Feldemissions-Rasterelektronenmikroskop

高分辨率场发射扫描电子显微镜

• 批准号: 268250721
• 金额: --
• 依托单位: Technische Universität München (TUM)
• 依托单位国家: 德国
• 项目类别: Major Research Instrumentation
• 财政年份: 2015
• 资助国家: 德国
• 起止时间: 2014-12-31 至 无数据
• 项目状态: 未结题
• 来源: https://gepris.dfg.de/gepris/projekt/268250721?language=en
• 关键词: Hochaufl; sendes; Feldemissions; Rasterelektronenmikroskop

Das IWC-TUM beschäftigt sich mit der Entwicklung und Etablierung von neuen analytischen Verfahren. Derzeit gewinnt die Untersuchung von Nanopartikeln und Mikroorganismen, besonders Viren, immer mehr an Bedeutung. Das erfordert als Charakterisierungsmethode u.a den Einsatz eines höchstauflösenden REM mit Kryosystem und variablen Druckeinstellungen. Das seit 24 Jahren am IWC vorhandene REM ist technisch völlig veraltet (Auflösung ¿ 100 nm) und kann nicht mehr effizient in der Forschung eingesetzt werden. Zwei am Department vorhandene REM befinden sich am Standort Garching der TU München, 30 km von IWC-TUM entfernt, was die Analyse empfindlicher und besonders mikrobiologischer Proben in Garching unmöglich macht. Zudem bietet ein REM mit Wolframkathode nicht die erforderliche Auflösung im Niederspannungsbereich. Das zweite Gerät ist von vier Lehrstühlen vollständig ausgelastet.Das beantragte REM (mit Schottky-Emitter) ermöglicht die Analyse von Partikeln mit einer Ortsauflösung von 1,3 nm bzw. 2,8 nm bei 20 kV bzw. 1 kV. Durch geringe Spannung (ab 0,1 kV), Kühlen der Probe während der Untersuchung und variablen Druckeinstellungen (bis max. 133 Pa) kann die Mikro- und Nanostruktur schonend, ohne Aufladungseffekte und strukturelle Veränderungen (auch bei sehr empfindlichen mikrobiologischen Proben, s. beil. Liste) untersucht werden. Mit dem Einsatz des modernen EDX-Detektors (60 mm2, < 126 eV) wird die Nanoanalytik auch im Leichtelement- und Niederenergiebereich möglich.

IWC-TUM需要新的分析方法的开发和建立。因此，对纳米粒子和微生物的研究，尤其是对绿色的研究，总是梅尔更有意义。这是一种利用Kryosystem和可变Druckeinstellungen的快速眼动系统的特性分析方法。IWC万国表自24年前推出快速眼动技术以来，已取得了很大的进步（发光波长约100 nm），但在韦尔登研究方面仍没有梅尔成效。位于慕尼黑工业大学Garching站附近的第二个REM部门，距离IWC-TUM 30公里，是Garching的分析实验室和微生物实验室。在下一段时间里，用钨阴极进行快速眼动并不容易。这两种方法都是由四种不同的激光束组成的。快速眼动显微镜（使用肖特基-爱因斯坦）可以用1.3 nm波长的激光束对部分进行分析。2.8 nm bei 20 kV bzw. 1千伏。测量范围（ab 0，1 kV），探头的Kühlen während der Untersuchung und variablen Druckeinstellungen（bis max. 133 Pa）可以使Mikro- und Nanostruktur schonend，ohne Aufladungseffekte und strukturelle Veränderungen（也可以在mikrobiologischen Proben，s.贝尔。Liste）untersucht韦尔登.现代EDX检测器（60 mm 2，< 126 eV）的改进也将使纳米分析更接近于Leichtelement- und Niederenergiebereich möglich。